【摘要】本實用新型提供一種金屬排屑機履帶鏈節片結構，鏈節片與相鄰鏈節片串聯樞接構成一履帶；其改進之處在于：鏈節片表面形成有數個排屑凸塊，各排屑凸塊周緣凸伸設有系列相隔設置的突腳，相鄰突腳間形成有凹陷部；使排屑凸塊可在維持其大小比例的范圍內增
【摘要】 本發明公開了一種微型聲學傳感器及其制造方法，該方法包括：首先，提供基板，基板中具有至少一第一氣腔以及一位于第一氣腔上的第二氣腔，接著在基板上形成具有多個聲孔的背板，然后在背板上形成振動膜，振動膜與背板之間具有一振動空間，其中，通過各個聲孔使得振動空間、第二氣腔以及第一氣腔互相相通，而振動膜的周圍具有多個套環，這些套環可套住形成于基板上的各個固定樁，或是在基板上形成扣件扣于振動膜上所設的扣孔，由于以套環或扣孔作為振動膜的邊界結構得以提高振動膜的機械靈敏度，此外，背板由蝕刻基板所形成的單晶結構來支撐以提高結構穩定性。 【專利類型】發明申請 【申請人】財團法人工業技術研究院 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】中國臺灣新竹縣 【申請人地區】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請號】CN200610168393.2 【申請日】2006-12-27 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101005718A 【公開公告日】2007-07-25 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN101005718B 【授權公告日】2011-04-20 【授權公告年份】2011.0 【IPC分類號】H04R19/00; H04R31/00 【發明人】宋柏勛 【主權項內容】1、一種微型聲學傳感器，其特征在于，包含有： 一基板，該基板具有至少一第一氣腔以及一位于該第一氣腔上的第二氣 腔，該第一氣腔與該第二氣腔相通； 一背板位于該基板上，該背板具有多個聲孔； 一振動膜位于該背板之上，該振動膜的周圍具有多個套環；以及 多個固定樁形成于該基板上，各該固定樁的位置分別對應于各該套環的位 置； 其中，該振動膜與該背板之間具有一振動空間，通過各該聲孔使得該振動 空間、該第二氣腔以及該第一氣腔彼此相通，且各該套環分別套住對應的各該 固定樁，各該套環的洞孔直徑大于各該固定樁的直徑。 微信 【當前權利人】財團法人工業技術研究院 【當前專利權人地址】中國臺灣新竹縣 【引證次數】3.0 【被引證次數】7 【他引次數】3.0 【被他引次數】7.0 【家族引證次數】7.0 【家族被引證次數】7
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