【專利類型】外觀設(shè)計(jì)【申請(qǐng)人】鄧勇【申請(qǐng)人類型】個(gè)人【申請(qǐng)人地址】101100北京市通州區(qū)云景東路15號(hào)院1號(hào)1506【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó)【申請(qǐng)人城市】北京市【申請(qǐng)人區(qū)縣】通州區(qū)【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200630021831.3【申請(qǐng)日】2006-0
【摘要】 本發(fā)明是關(guān)于一種微影系統(tǒng)及其制程，該微影制程，其包括：接收具有感光層的基底；提供能夠使所述感光層的一部分曝光的光源；和提供能夠定義要轉(zhuǎn)移到感光層的至少一個(gè)圖案的光罩。具體地說(shuō)，基底在感光層上或上方具有上表面，且光罩在其第一表面處接收光源的電磁波，并從其第二表面產(chǎn)生多個(gè)電磁成分。微影制程還可包括：提供透鏡，其在透鏡的下表面處提供平整表面，用于將圖案轉(zhuǎn)移到感光層；和調(diào)節(jié)透鏡的平整表面與基底的上表面之間的距離，以控制投射到感光層上的電磁成分的數(shù)目和量。 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】旺宏電子股份有限公司 【申請(qǐng)人類型】企業(yè) 【申請(qǐng)人地址】中國(guó)臺(tái)灣新竹縣科學(xué)工業(yè)園區(qū)力行路16號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】臺(tái)灣省 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610127750.0 【申請(qǐng)日】2006-09-01 【申請(qǐng)年份】2006 【公開公告號(hào)】CN101086624A 【公開公告日】2007-12-12 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN101086624B 【授權(quán)公告日】2013-08-21 【授權(quán)公告年份】2013.0 【IPC分類號(hào)】G03F7/20; H01L21/00 【發(fā)明人】吳宗顯; 楊大弘; 盧志遠(yuǎn) 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種微影制程，其特征在于其包括： 接收具有一感光層的一基底； 提供一光源，能夠使該感光層的一部分曝光； 提供一光罩，能夠定義出要轉(zhuǎn)移到該感光層的至少一個(gè)圖案，其中該 光罩在其第一表面處接收所述光源的電磁波，且從其第二表面產(chǎn)生多 個(gè)電磁成分； 提供一透鏡，用于將該圖案轉(zhuǎn)移到該感光層，且該透鏡在其下表面處 提供平整表面；以及 調(diào)節(jié)該透鏡的平整表面與該基底的上表面之間的距離，以控制投射到 該感光層上的該些電磁成分的數(shù)目和量。 【當(dāng)前權(quán)利人】旺宏電子股份有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】中國(guó)臺(tái)灣新竹縣科學(xué)工業(yè)園區(qū)力行路16號(hào) 【引證次數(shù)】4.0 【被引證次數(shù)】1 【他引次數(shù)】4.0 【被他引次數(shù)】1.0 【家族引證次數(shù)】27.0 【家族被引證次數(shù)】3
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