【摘要】一種波紋片式脈動緩沖器，是在杯體上配有蓋， 且蓋通過螺栓壓緊在杯體上，蓋和杯體口之間通過杯口密封圈 設(shè)有波紋片，該波紋片的面上設(shè)有凸凹的波紋，蓋上設(shè)有載液 出口、載液入口，分別到波紋片上，蓋上設(shè)有與壓力傳感器相 配合的中心通孔，壓力
【摘要】 本實用新型公開了一種晶片傳輸機(jī)械手裝置，該裝置包括機(jī)械手臂、直線導(dǎo)軌、驅(qū)動盤、機(jī)械手支架、回轉(zhuǎn)盤、張緊輪、鋼帶，其中機(jī)械手臂安裝在回轉(zhuǎn)盤上，回轉(zhuǎn)盤位于機(jī)械手支架上，機(jī)械手支架下安裝直線導(dǎo)軌；鋼帶繞制在回轉(zhuǎn)盤、張緊輪、驅(qū)動盤上，驅(qū)動盤通過鋼帶、回轉(zhuǎn)盤、張緊輪控制機(jī)械手臂旋轉(zhuǎn)。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單有效，使用壽命長；采用部件少，可靠性高、易維護(hù)。 【專利類型】實用新型 【申請人】北京中科信電子裝備有限公司 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】100036北京市海淀區(qū)復(fù)興路乙20號匯通商務(wù)樓北門44號辦公樓2層?xùn)|段 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區(qū)縣】海淀區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200620008182.8 【申請日】2006-03-17 【申請年份】2006 【公開公告號】CN2912932Y 【公開公告日】2007-06-20 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN2912932Y 【授權(quán)公告日】2007-06-20 【授權(quán)公告年份】2007.0 【IPC分類號】B25J9/02 【發(fā)明人】許波濤; 郭健輝; 易文杰; 伍三忠 【主權(quán)項內(nèi)容】1.一種晶片傳輸機(jī)械手裝置，其特征在于：包括機(jī)械手臂、直 線導(dǎo)軌、驅(qū)動盤、機(jī)械手支架、回轉(zhuǎn)盤、張緊輪、鋼帶，其中機(jī)械手 臂安裝在回轉(zhuǎn)盤上，回轉(zhuǎn)盤位于機(jī)械手支架上，機(jī)械手支架下安裝直 線導(dǎo)軌；鋼帶繞制在回轉(zhuǎn)盤、張緊輪、驅(qū)動盤上，驅(qū)動盤通過鋼帶、 回轉(zhuǎn)盤、張緊輪控制機(jī)械手臂旋轉(zhuǎn)。。 【當(dāng)前權(quán)利人】北京中科信電子裝備有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】北京市海淀區(qū)復(fù)興路乙20號匯通商務(wù)樓北門44號辦公樓2層?xùn)|段 【專利權(quán)人類型】有限責(zé)任公司(法人獨資) 【統(tǒng)一社會信用代碼】911101127513429762 【被引證次數(shù)】7 【被他引次數(shù)】7.0 【家族被引證次數(shù)】7
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