【摘要】本實用新型公開了一種晶片臺角度調(diào)整裝置，包括靜電卡盤基座、晶片臺基座、密封法蘭、導(dǎo)向座、運動軸、微電機，其中所述可旋轉(zhuǎn)靜電卡盤基座在晶片臺基座上，晶片臺基座固定在可旋轉(zhuǎn)運動軸的一端，運動軸穿過導(dǎo)向座、密封法蘭，運動軸的另一端連接微電
【摘要】 1.組件1為本外觀設(shè)計的測量主體部分，組件2為本外觀設(shè)計的控制主機， 組件2通過導(dǎo)線與組件1連接。 2.組件1右視圖與組件1左視圖對稱，省略組件1右視圖。 3.組件1仰視圖無設(shè)計要點，省略組件1仰視圖。 【專利類型】外觀設(shè)計 【申請人】王秀麗 【申請人類型】個人 【申請人地址】100039北京市海淀區(qū)永定路16號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區(qū)縣】海淀區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200630120963.1 【申請日】2006-06-23 【申請年份】2006 【公開公告號】CN3679542D 【公開公告日】2007-08-15 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN3679542D 【授權(quán)公告日】2007-08-15 【授權(quán)公告年份】2007.0 【發(fā)明人】王秀麗 【主權(quán)項內(nèi)容】無 【當前權(quán)利人】北京海波爾達科技有限公司 【當前專利權(quán)人地址】北京市海淀區(qū)彰化路18號冠方大廈436室
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