【摘要】一種測斜儀用慣性測量組件一體化裝置，由后 軸、X軸加速度計座、Y軸加速度計座、陀螺信號接口、陀螺 后罩、絕緣層、絕緣接線柱、密封罩、殼體、慣性體前罩和前 軸組成，可以安裝一個雙軸動力調(diào)諧陀螺儀和兩個加速度計。 該裝置用來保證兩個加速
【摘要】 一種具有金屬鉿薄中間層的SOI型復(fù)合可協(xié)變層襯底，其特征在于，包括如下幾部分：一常規(guī)SOI可協(xié)變襯底，包括起支撐作用的底部Si(100)襯底、中間起解偶合作用的氧化硅絕緣層，頂部起失配應(yīng)變協(xié)調(diào)作用的超薄Si單晶可協(xié)變層；一具有六方結(jié)構(gòu)的金屬鉿薄中間層，制備在常規(guī)SOI可協(xié)變襯底的頂部超薄Si單晶可協(xié)變層上，并與之一起構(gòu)成復(fù)合可協(xié)變層，共同協(xié)調(diào)失配應(yīng)變，從而得到SOI型復(fù)合可協(xié)變層襯底；一大失配外延層，與Si(100)襯底有較大晶格失配，制備在六方金屬鉿薄中間層上，并與前兩部分一起構(gòu)成大失配異質(zhì)結(jié)構(gòu)材料。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】100083北京市海淀區(qū)清華東路甲35號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區(qū)縣】海淀區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200610003529.4 【申請日】2006-02-09 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101017830A 【公開公告日】2007-08-15 【公開公告年份】2007 【IPC分類號】H01L27/12 【發(fā)明人】楊少延; 陳涌海; 李成明; 范海波; 王占國 【主權(quán)項內(nèi)容】1.一種具有金屬鉿薄中間層的SOI型復(fù)合可協(xié)變層襯 底，其特征在于，包括如下幾部分： 一常規(guī)SOI可協(xié)變襯底，包括起支撐作用的底部Si(1 00)襯底、中間起解偶合作用的氧化硅絕緣層，頂部起失配 應(yīng)變協(xié)調(diào)作用的超薄Si單晶可協(xié)變層； 一具有六方結(jié)構(gòu)的金屬鉿薄中間層，制備在常規(guī)SOI可協(xié) 變襯底的頂部超薄Si單晶可協(xié)變層上，并與之一起構(gòu)成復(fù)合 可協(xié)變層，共同協(xié)調(diào)失配應(yīng)變，從而得到SOI型復(fù)合可協(xié)變層 襯底； 一大失配外延層，與Si(100)襯底有較大晶格失配， 制備在六方金屬鉿薄中間層上，并與前兩部分一起構(gòu)成大失配 異質(zhì)結(jié)構(gòu)材料。 【當(dāng)前權(quán)利人】中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】北京市海淀區(qū)清華東路甲35號 【統(tǒng)一社會信用代碼】12100000400012385U 【被引證次數(shù)】7 【被自引次數(shù)】1.0 【被他引次數(shù)】6.0 【家族被引證次數(shù)】7
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