【專(zhuān)利類(lèi)型】外觀(guān)設(shè)計(jì)【申請(qǐng)人】曲波【申請(qǐng)人類(lèi)型】個(gè)人【申請(qǐng)人地址】100049北京市海淀區(qū)玉泉路15號(hào)【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó)【申請(qǐng)人城市】北京市【申請(qǐng)人區(qū)縣】海淀區(qū)【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200630009002.3【申請(qǐng)日】2006-04-03【申請(qǐng)年
【摘要】 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種離子注入機(jī)寬范圍電流 檢測(cè)自動(dòng)換檔裝置包括法拉第，I/V轉(zhuǎn)換器，運(yùn)放器，模擬開(kāi) 關(guān)，場(chǎng)效應(yīng)管，高精密電阻，控制器，主計(jì)算機(jī)，其中法拉第 將接收到的帶電粒子以電流的形式傳輸?shù)絀/V轉(zhuǎn)換器，I/V轉(zhuǎn) 換器將接收來(lái)的束流進(jìn)行電流到電壓的轉(zhuǎn)換，傳送給運(yùn)放器， 運(yùn)放器將接收來(lái)的束流進(jìn)行電壓放大，控制器發(fā)送指令控制模 擬開(kāi)關(guān)來(lái)選擇檔位，使場(chǎng)效應(yīng)管導(dǎo)通，高精密電阻作為反饋電 阻，將運(yùn)放器的輸出電壓進(jìn)行反饋放大，控制器讀取運(yùn)放器的 輸出電壓值，將它轉(zhuǎn)化為數(shù)字信號(hào)傳送給主計(jì)算機(jī)，主計(jì)算機(jī) 對(duì)檢測(cè)到的電流值進(jìn)行判斷，控制模擬開(kāi)關(guān)和高精密電阻換 檔。該裝置使用閉環(huán)全自動(dòng)控制，實(shí)現(xiàn)了離子注入機(jī)寬范圍的 自動(dòng)換檔。 【專(zhuān)利類(lèi)型】實(shí)用新型 【申請(qǐng)人】北京中科信電子裝備有限公司 【申請(qǐng)人類(lèi)型】企業(yè) 【申請(qǐng)人地址】100036北京市海淀區(qū)復(fù)興路乙20號(hào)匯通商務(wù)樓北門(mén)44號(hào)辦公樓2層?xùn)|段 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】北京市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】海淀區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200620008171.X 【申請(qǐng)日】2006-03-17 【申請(qǐng)年份】2006 【公開(kāi)公告號(hào)】CN2890080Y 【公開(kāi)公告日】2007-04-18 【公開(kāi)公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN2890080Y 【授權(quán)公告日】2007-04-18 【授權(quán)公告年份】2007.0 【IPC分類(lèi)號(hào)】C23C14/48; C23C14/54; H01J37/317; H01L21/265 【發(fā)明人】王迪平; 孫雪平; 伍三忠 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1.一種離子注入機(jī)寬范圍電流檢測(cè)自動(dòng)換檔裝置，其特征在 于：包括法拉第，I/V轉(zhuǎn)換器，運(yùn)放器，模擬開(kāi)關(guān)，場(chǎng)效應(yīng)管，高精 密電阻，控制器，主計(jì)算機(jī)，其中用于接收注入摻雜束流的法拉第將 接收到的帶電粒子以電流的形式傳輸?shù)絀/V轉(zhuǎn)換器，I/V轉(zhuǎn)換器將接 收來(lái)的束流進(jìn)行電流到電壓的轉(zhuǎn)換，傳送給運(yùn)放器，運(yùn)放器將接收來(lái) 的束流進(jìn)行電壓放大，控制器發(fā)送指令控制模擬開(kāi)關(guān)來(lái)選擇檔位，使 場(chǎng)效應(yīng)管導(dǎo)通，高精密電阻作為反饋電阻，將運(yùn)放器的輸出電壓進(jìn)行 反饋放大，控制器讀取運(yùn)放器的輸出電壓值，將它轉(zhuǎn)化為數(shù)字信號(hào)傳 送給主計(jì)算機(jī)，主計(jì)算機(jī)對(duì)檢測(cè)到的電流值進(jìn)行判斷，控制模擬開(kāi)關(guān) 和高精密電阻換檔。 【當(dāng)前權(quán)利人】北京中科信電子裝備有限公司 【當(dāng)前專(zhuān)利權(quán)人地址】北京市海淀區(qū)復(fù)興路乙20號(hào)匯通商務(wù)樓北門(mén)44號(hào)辦公樓2層?xùn)|段 【專(zhuān)利權(quán)人類(lèi)型】有限責(zé)任公司(法人獨(dú)資) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】911101127513429762 【被引證次數(shù)】1 【被他引次數(shù)】1.0 【家族被引證次數(shù)】1
未經(jīng)允許不得轉(zhuǎn)載：http://www.mhvdw.cn/1776208040.html
喜歡就贊一下
