【摘要】本發明提供一種等離子淋浴器，能夠產生中和用電子，用于在離子注入工藝中，在被注入晶片上產生的靜電積累進行中和，提高離子注入工藝的性能，消除靜電積累對注入晶片的危害。【專利類型】發明申請【申請人】北京中科信電子裝備有限公司【申請人類型】
【摘要】 本發明公開了一種石英質熱修料及使用方法，針 對現有熱修材料二氧化硅含量低，不含黏結劑，熱膨脹系數高， 無法制成預制塊的問題。本發明包括：3至7份生硅粉、3至7 份微硅粉、1至2份硼砂、1至4份羧甲基纖維素、2至5份磷 酸二氫鋁、0.08至0.15份防暴纖維、約100份熔融石英。本發 明使用方法包括以下步驟：(1)將泥狀的石英質熱修料按燒蝕穿 孔處孔洞的形狀，搗打成預制塊，烘干；(2)用預制塊堵塞孔洞； (3)用泥狀石英質熱修料堵塞縫隙。本發明耐高溫、抗侵蝕、熱 膨脹系數小、抗熱沖擊性能好、不污染玻璃液、可塑性強、黏 結性好，適于對現有玻璃熔窯的小爐、大碹、胸腔和火焰空間 進行熱修。 【專利類型】發明申請 【申請人】孫邢哲 【申請人類型】個人 【申請人地址】100039北京市海淀區田村路48號院15單元9號 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】海淀區 【申請號】CN200610099481.1 【申請日】2006-07-24 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1887805A 【公開公告日】2007-01-03 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100369866C 【授權公告日】2008-02-20 【授權公告年份】2008.0 【IPC分類號】C04B35/66; C04B14/06; C04B22/16; C04B24/38; C04B30/02; C04B14/02; C04B22/00; C04B24/00; C04B30/00 【發明人】孫邢哲 【主權項內容】1、一種石英質熱修料，包括：3至7份生硅粉、3至7份微硅粉、1至2份硼砂、1至4 份黏度為500至800的羧甲基纖維素、2至5份磷酸二氫鋁、0.08至0.15份長度為3至5毫 米的防暴纖維、30至50份粒度小于等于0.088毫米的熔融石英、50至70份粒度大于0.088 毫米小于5毫米的熔融石英，其中，磷酸二氫鋁中五氧化二磷的含量為55％至65％、三氧化二 鋁的含量為15％至25％。。 【當前權利人】孫邢哲 【當前專利權人地址】北京市海淀區田村路48號院15單元9號 【被引證次數】7 【被他引次數】7.0 【家族引證次數】4.0 【家族被引證次數】7
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