【摘要】本實用新型公開了一種離子注入機的一維機械掃描裝置，包括靶臺、伺服電機和線性運動推動機構，線性運動推動機構的連桿和擺動掃描從動臂的兩端分別與靶臺和固定座活動連接，構成平行四邊形，擺動掃描從動臂的固定座一端與擺動掃描驅動臂的一端固定連接
【摘要】 本發明公開了一種有效抑制鈮酸鹽無鉛壓電陶 瓷燒結過程中堿金屬揮發的方法。該方法簡稱為雙層坩堝法： 在常用氧化鋁陶瓷外坩堝里內置一個與燒結材料相似成分的 堿金屬鈮酸鹽內坩堝，并在內坩堝周圍充填堿金屬鈮酸鹽埋 粉。具體方法是將堿金屬鈮酸鹽陶瓷預燒后的壓制坯體放入與 其成分相似成分的堿金屬鈮酸鹽內坩堝中，再將其埋入盛有與 待燒結陶瓷相似成分的堿金屬鈮酸鹽埋粉的外坩堝中，在大氣 中進行無壓燒結。該方法能有效抑制燒結過程中的堿金屬揮 發，并能得到高致密度的陶瓷塊體制品，其壓電常數比只用埋 粉燒結的堿金屬鈮酸鹽陶瓷有較大幅度的提高。 【專利類型】發明申請 【申請人】清華大學; 日本豐田汽車株式會社 【申請人類型】企業,學校 【申請人地址】100084北京市100084－82信箱 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】海淀區 【申請號】CN200610112893.4 【申請日】2006-09-06 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1935745A 【公開公告日】2007-03-28 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100551875C 【授權公告日】2009-10-21 【授權公告年份】2009.0 【發明人】李敬鋒; 甄玉花; 森連太郎; 清水逵彥 【主權項內容】1.一種抑制鈮酸鹽壓電陶瓷材料燒結過程中堿金屬揮發的方法，所述鈮酸鹽 壓電陶瓷材料按化合物通式(LixKzNa1-x-z)(Nb1-yTay)O3，配料，其中0≤x＜0.1， 0≤y≤0.5，0＜z≤0.5；其x，y，z為摩爾量，其特征在于，該材料采用雙層坩堝無 壓燒結法燒結，即將此陶瓷配料預燒后得到堿金屬鈮酸鹽粉末、壓制成坯體，放 入與其成分相似的堿金屬鈮酸鹽內坩堝中，再將其埋入盛有與待燒結陶瓷相似成 分的堿金屬鈮酸鹽埋粉的外坩堝中，在大氣中進行無壓燒結，得到鈮酸鹽壓電陶 瓷材料。。 【當前權利人】清華大學; 日本豐田汽車株式會社 【當前專利權人地址】北京市100084-82信箱; 【專利權人類型】公立 【統一社會信用代碼】12100000400000624D 【被引證次數】5 【家族被引證次數】5
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