【摘要】后視圖與主視圖對稱，省略后視圖。【專利類型】外觀設(shè)計(jì)【申請人】北京大龍東辰科技發(fā)展有限公司【申請人類型】企業(yè)【申請人地址】101300北京市順義區(qū)仁和地區(qū)警校路東側(cè)【申請人地區(qū)】中國【申請人城市】北京市【申請人區(qū)縣】順義區(qū)【申請?zhí)枴?/p>
【摘要】 本發(fā)明涉及微電子領(lǐng)域。本發(fā)明公開的一種刻蝕 機(jī)集群控制器與工藝模塊控制器通訊系統(tǒng)及方法，包括：集群 控制器、工藝模塊控制器，連接集群控制器與工藝模塊控制器 的以太網(wǎng)，還包括通訊模塊，該通訊模塊通過以太網(wǎng)將控制信 息和狀態(tài)信息在集群控制器與工藝模塊控制器之間傳輸。方 法：1)準(zhǔn)備工作步驟；2)網(wǎng)絡(luò)測試連接工作步驟；3)具體通信 工作步驟：即進(jìn)入正常運(yùn)行狀態(tài)后，集群控制器通過Web服 務(wù)器與工藝模塊控制器進(jìn)行信息和指令的交互。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司; 清華大學(xué) 【申請人類型】企業(yè),學(xué)校 【申請人地址】100016北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區(qū)縣】朝陽區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200610011316.6 【申請日】2006-02-09 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1937505A 【公開公告日】2007-03-28 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN100429887C 【授權(quán)公告日】2008-10-29 【授權(quán)公告年份】2008.0 【發(fā)明人】徐華; 丁力; 賈培發(fā); 王家廞; 趙雁南 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種刻蝕機(jī)集群控制器與工藝模塊控制器通訊系統(tǒng)，包括集 群控制器、工藝模塊控制器，連接集群控制器與工藝模塊控制器的以 太網(wǎng)，其特征在于還包括通訊模塊，該通訊模塊通過以太網(wǎng)將控制信 息和狀態(tài)信息在集群控制器與工藝模塊控制器之間傳輸。 【當(dāng)前權(quán)利人】北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司; 清華大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】北京市大興區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)文昌大道8號; 北京市海淀區(qū)清華園 【專利權(quán)人類型】有限責(zé)任公司; 公立 【統(tǒng)一社會信用代碼】91110302801786752A; 12100000400000624D 【被引證次數(shù)】4 【被自引次數(shù)】1.0 【家族被引證次數(shù)】4
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