【摘要】后視圖沒有圖案無保護特征，省略后視圖。【專利類型】外觀設計【申請人】北京好利來企業投資管理有限公司【申請人類型】企業【申請人地址】100020北京市朝陽區建國路88號現代城A區(SOHO)區L0312室【申請人地區】中國【申請人城市
【摘要】 本實用新型是平行板電容驅動的MEMS彎曲扭轉疲勞實驗裝置，屬于微納米尺度材料特性基礎研究領域。該裝置通過兩個平行板電容驅動器(3、12)分別實現對疲勞試樣(5)的彎曲和扭轉驅動。疲勞試樣5一端與接地電極(4)連接，另一端與第三平行板電容驅動器(12)的上極板連接。試樣(5)中部的與其垂直的橫梁的一端與第一平行板電容驅動器(3)的上極板相連，另一端與平行板電容傳感器的上級板相連，平行板電容傳感器的下極板通過檢測電極接外部振幅檢測電路從而實時的獲得試樣的振動幅度。本實用新型采用兩個平行板電容驅動器分別對試樣進行彎曲和扭轉驅動，并且互不影響，客服了現有裝置只能模擬MEMS構件單相應力工作環境的不足。 【專利類型】實用新型 【申請人】北京工業大學 【申請人類型】學校 【申請人地址】100022北京市朝陽區平樂園100號 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】朝陽區 【申請號】CN200620158421.8 【申請日】2006-11-10 【申請年份】2006 【公開公告號】CN200975966Y 【公開公告日】2007-11-14 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN200975966Y 【授權公告日】2007-11-14 【授權公告年份】2007.0 【發明人】尚德廣; 賈冠華; 李立森; 王瑞杰; 孫國芹; 鄧靜; 劉豪 【主權項內容】1、平行板電容驅動的MEMS彎曲扭轉疲勞實驗裝置，其特征在于：主要包括 有第一驅動電極(1)、第二驅動電極(10)、接地電極(4)、檢測電極(8)、 實驗試樣(5)、由第一底電極(2)和第一上級板(34)組成的第一平行板電 容(3)、第二底電極(7)和第二上級板(35)組成的第二平行板電容(6)、 第三底電極(9)和第三上級板(33)組成的第三平行板電容(12)；其中， 實驗試樣(5)為一端固定于接地電極(4)的懸臂梁，另一端與第三平行板 電容(12)的第三上極板(33)連接，試樣(5)的中部設有與其垂直的橫梁， 橫梁的一端與第一平行板電容(3)的第一上極板(34)相連，橫梁的另一端 與第二平行板電容(6)的第二上級板(35)相連；第一上級板(34)、第二 上級板(35)、第三上級板(33)、實驗試樣(5)及其橫梁連為一體且在接地 電極(4)的固定層的支撐下懸空，該整體通過接地電極(4)接地；第一底 電極(2)通過第一驅動電極(1)通交流電，第三底電極(9)通過驅動電極 接交流電；第二底電極(7)通過第二檢測電極(8)接外部振幅檢測電路來 獲得實驗過程中實驗試樣(5)得振動幅度，第一上級板(34)、第二上級板 (35)、第三上級板(33)、實驗試樣(5)通過接地電極(4)接地。 【當前權利人】北京工業大學 【當前專利權人地址】北京市朝陽區平樂園100號 【專利權人類型】公立 【統一社會信用代碼】12110000400687411U 【被引證次數】3 【被他引次數】2.0 【家族被引證次數】3
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