【摘要】本發明提供一種人造血管膠原、絲素蛋白分層預 凝涂層方法，通過機織或編織成具彈性多孔隙管型結構的合成 血管假體，和使用三層涂層技術將絲素蛋白和增塑劑，膠原蛋 白和增塑劑混合液相繼涂覆血管假體內壁而成。絲素蛋白液和 膠原蛋白液涂層血管假
【摘要】 本發明涉及自動控制領域，具體涉及半導體刻蝕 工藝中的刻蝕機集群控制器。本發明提出一種刻蝕機集群控制 器，包括將數據輸入到控制器中的輸入設備、存儲數據的存儲 設備、顯示監控狀態的輸出設備、執行控制信息的CPU、以及 用于與刻蝕機相連接的傳輸設備，其中還包括工藝模塊，該模 塊根據模塊中存儲的工藝流程所需的條件，對刻蝕機輸出控制 信息。采用本發明，可以實現對半導體刻蝕機的流程工藝的編 輯、保存，以及載入現有的流程工藝條件等功能；還具有安全 性管理、輸入/輸出的定制、日志管理、狀態燈塔顯示、工藝模 塊和通訊模塊的參數設置等功能。 【專利類型】發明申請 【申請人】北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司; 清華大學 【申請人類型】企業,學校 【申請人地址】100016北京市朝陽區酒仙橋東路1號 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】朝陽區 【申請號】CN200610011922.8 【申請日】2006-05-17 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1959569A 【公開公告日】2007-05-09 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100437398C 【授權公告日】2008-11-26 【授權公告年份】2008.0 【IPC分類號】G05B19/02 【發明人】徐華; 賈培發; 曹亦明; 趙雁南; 王家廞 【主權項內容】1、一種刻蝕機集群控制器，包括將數據輸入到控制器中的輸入 設備、存儲數據的存儲設備、顯示監控狀態的輸出設備、執行控制信 息的CPU、以及用于與刻蝕機相連接的傳輸設備，其特征在于，該 刻蝕機集群控制器還包括： 工藝模塊，用于根據存儲的工藝流程所需的條件，對完成刻蝕工 藝的相關參數進行編輯、保存和載入，并根據所述參數向刻蝕機輸入 控制信息，控制刻蝕機對晶片進行刻蝕操作。。： 【當前權利人】北京北方華創微電子裝備有限公司; 清華大學 【當前專利權人地址】北京市大興區經濟技術開發區文昌大道8號; 北京市海淀區清華園 【專利權人類型】有限責任公司; 公立 【統一社會信用代碼】91110302801786752A; 12100000400000624D 【被引證次數】13 【被自引次數】3.0 【被他引次數】10.0 【家族引證次數】3.0 【家族被引證次數】13
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