【摘要】本實用新型是平行板電容驅動的MEMS彎曲扭轉疲勞實驗裝置，屬于微納米尺度材料特性基礎研究領域。該裝置通過兩個平行板電容驅動器(3、12)分別實現對疲勞試樣(5)的彎曲和扭轉驅動。疲勞試樣5一端與接地電極(4)連接，另一端與第三平行板
【專利類型】外觀設計 【申請人】樂金電子(中國)研究開發中心有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】100022北京市朝陽區建國門外大街乙12號雙子座大廈西塔21層 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】朝陽區 【申請號】CN200630021678.4 【申請日】2006-03-01 【申請年份】2006 【公開公告號】CN3607852D 【公開公告日】2007-02-07 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN3607852D 【授權公告日】2007-02-07 【授權公告年份】2007.0 【發明人】郝其斐; 樸光春 【主權項內容】無 【當前權利人】樂金電子(中國)研究開發中心有限公司 【當前專利權人地址】北京市朝陽區建國門外大街乙12號雙子座大廈西塔21層 【專利權人類型】有限責任公司(外國法人獨資) 【統一社會信用代碼】91110105744704182F
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