【摘要】本實用新型是關于一種超大型等離子真空鍍膜裝置，涉及真空離子鍍膜設備。本實用新型是為解決對大型工件的等離子真空鍍膜作業，而提出一種超大型等離子真空鍍膜裝置，其特征在于由第一、第二真空室、鍍膜室、同步傳動機構、行走架、采集器、偏壓器件、
【專利類型】外觀設計 【申請人】王悅; 王鐵軍; 李維森 【申請人類型】個人 【申請人地址】102206北京市昌平區沙河鎮踩河村156號 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】昌平區 【申請號】CN200630021956.6 【申請日】2006-08-17 【申請年份】2006 【公開公告號】CN3648791D 【公開公告日】2007-05-23 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN3648791D 【授權公告日】2007-05-23 【授權公告年份】2007.0 【發明人】王悅; 王鐵軍; 李維森 【主權項內容】無 【當前權利人】北京普源精電科技有限公司 【當前專利權人地址】北京市海淀區北清路68號院1號樓2層30室
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