【摘要】本實用新型公開了一種柔性軟封堵閥,它由固定圈和柔性軟封堵構成,所述柔性軟封堵安裝在固定圈內,所述固定圈為一個中間設置有一圈連接平臺的連接管,所述柔性軟封堵為一個橡膠筒,所述橡膠筒底部向內相向收縮為一道長條狀扁平封口,所述橡膠筒頂部設
【摘要】 本實用新型涉及集成光學技術領域。它提出了一種多信道可調光衰減器,是基于平面光波導技術,采用半導體硅基沉積二氧化硅和金屬薄膜濺射法的多層平面晶圓加工制作工藝和技術。可調光衰減器的光路由馬赫-曾德干涉儀的上臂調節支路和下臂直通構支路構成;置于調節支路上面的加熱電路由高電導率的導電層和高電阻率的加熱層構成,通過電子控制可調電源,調節溫度,以改變輸出光信號的強度。深度蝕刻的隔熱槽結構,可提高衰減器的調節深度,減小多信道可調光衰減器的串擾。該光器件不但結構緊湊、集成度高、體積小,重量輕,性能穩定可靠;而且制作工藝成熟、穩定、適合大批量生產、生產效率高、成本低,可廣泛應用于光通信網絡系統和光學儀器設備。 (macrodatas.cn) 【專利類型】實用新型 【申請人】陳谷紅; 管樺 【申請人類型】個人 【申請人地址】200042上海市靜安區萬春街162弄56支弄30號1902室 【申請人地區】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區縣】靜安區 【申請號】CN200620044674.2 【申請日】2006-08-09 【申請年份】2006 【公開公告號】CN200968996Y 【公開公告日】2007-10-31 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN200968996Y 【授權公告日】2007-10-31 【授權公告年份】2007.0 【IPC分類號】G02B6/10 【發明人】陳谷紅; 管樺 【主權項內容】1.多信道可調光衰減器,由多層光電晶圓結構組成,包括硅基、襯墊、波導光芯、覆蓋 包層、加熱層、導電層、保護層和深度蝕刻層,其特征在于:硅基晶圓上沉積折射率及厚度 不同的二氧化硅襯墊、波導光芯和覆蓋包層,構成平面光波導層;平面光波導層的光路調節 支路上面濺射金屬薄膜加熱層和導電層;在金屬薄膜上面沉積防金屬氧化的保護層;光路調 節支路和信道間蝕刻深度隔熱槽;可調光衰減器的光路由馬赫-曾德干涉儀單元構成,加熱電 路由電子控制的可調電源、高電導率的金屬導電薄膜電路、高電阻率的金屬加熱薄膜片以及 電路接口組成。 【當前權利人】陳谷紅; 管樺 【當前專利權人地址】上海市靜安區萬春街162弄56支弄30號1902室; 【被引證次數】15 【被他引次數】15.0 【家族被引證次數】15
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