【摘要】來(lái)源：百度馬 克 數(shù)據(jù)網(wǎng)。本實(shí)用新型提供了一種多功能立式精鏜床，包括立柱1、滑架2、主軸頭3、工作臺(tái)總成4，其主要特征是主軸頭3與滑架2之間用內(nèi)螺紋圓錐銷(xiāo)6定位，用螺栓5聯(lián)接，這樣主軸頭3與滑架2之間可拆分，根據(jù)不同加工要求配置單軸
【摘要】 本發(fā)明提供了一種消除光刻膠中氣泡的方法，具體工藝步驟為：對(duì)晶片進(jìn)行第一次烘焙；沉積凸點(diǎn)下金屬層；形成光刻膠層；進(jìn)行第二次烘焙。使用上述的方法能消除具有各種結(jié)構(gòu)的晶片表面的氣泡，消除率達(dá)到99.9％。本發(fā)明還提供一種消除了光刻膠中氣泡的凸點(diǎn)制作方法，以提高凸點(diǎn)制作工藝的良品率。 【專(zhuān)利類(lèi)型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司 【申請(qǐng)人類(lèi)型】企業(yè) 【申請(qǐng)人地址】201203上海市浦東新區(qū)張江路18號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】上海市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】浦東新區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610026756.9 【申請(qǐng)日】2006-05-22 【申請(qǐng)年份】2006 【公開(kāi)公告號(hào)】CN101078890A 【公開(kāi)公告日】2007-11-28 【公開(kāi)公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN101078890B 【授權(quán)公告日】2010-11-10 【授權(quán)公告年份】2010.0 【IPC分類(lèi)號(hào)】G03F7/26; H01L21/00 【發(fā)明人】梅娜; 王津洲 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1.一種消除光刻膠中氣泡的方法，其特征在于包括下列步驟：對(duì)晶片進(jìn) 行第一次烘焙；沉積凸點(diǎn)下金屬層；形成光刻膠層；進(jìn)行第二次烘焙。 【當(dāng)前權(quán)利人】中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司 【當(dāng)前專(zhuān)利權(quán)人地址】上海市浦東新區(qū)張江路18號(hào) 【專(zhuān)利權(quán)人類(lèi)型】有限責(zé)任公司(外國(guó)法人獨(dú)資) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】91310115710939629R 【引證次數(shù)】2.0 【被引證次數(shù)】7 【他引次數(shù)】2.0 【被自引次數(shù)】2.0 【被他引次數(shù)】5.0 【家族引證次數(shù)】5.0 【家族被引證次數(shù)】7
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