【專利類型】外觀設計【申請人】上海頂新箱包有限公司【申請人類型】企業【申請人地址】201500上海市金山區朱涇鎮亭楓公路3168號【申請人地區】中國【申請人城市】上海市【申請人區縣】金山區【申請號】CN200630035466.1【申請日】
【摘要】 一種硼磷氧化硅工藝，其特征在于，降低淀積反 應物中的硼和磷元素的總濃度，使其小于15摩爾百分比；并 使硼元素和磷元素之比大于2.5。本發明工藝操作簡單，成本 低，適于大生產。 【專利類型】發明申請 【申請人】上海集成電路研發中心有限公司; 上海華虹NEC電子有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】201203上海市浦東新區碧波路177號4樓 【申請人地區】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區縣】浦東新區 【申請號】CN200610030857.3 【申請日】2006-09-06 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1920093A 【公開公告日】2007-02-28 【公開公告年份】2007 【發明人】繆炳有; 龔順強; 陳昊瑜 【主權項內容】1、一種硼磷氧化硅工藝，其特征在于，降低淀積反應物中的硼和磷元素 的總濃度，使其小于15摩爾百分比；并使硼元素和磷元素之比大于2.5。 【當前權利人】上海集成電路研發中心有限公司; 上海華虹NEC電子有限公司 【當前專利權人地址】上海市浦東新區碧波路177號4樓; 上海市浦東新區川橋路1188號 【專利權人類型】有限責任公司(國有控股); 有限責任公司(臺港澳法人獨資) 【統一社會信用代碼】91310115745635158X; 91310000607374607X
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