【摘要】本發明涉及一種在半導體器件的光刻過程中縮小用于形成接觸孔的光刻膠圖案的臨界尺寸，從而允許得到臨界尺寸在90nm以下的接觸孔圖案的方法。所述方法包括a)在襯底上涂覆光刻膠，形成光刻膠層；b)利用具有預定圖案的掩模對光刻膠層進行曝光；c
【摘要】 一種雙向雙料壓力式過濾器，屬于城市和農村給 水、工業給水、循環水和廢水以及游泳池循環水等凈 化處理設備。本實用新型將混凝、過濾、反沖洗三個 工藝綜合在一個設備內完成。在水力旋轉管沖洗裝 置34下方有一個裝在法蘭4上的由角鋼20固定的 不銹鋼絲網5，在由拉板3固定的進水管22向上彎 起的一端裝有布滿布水孔35的喇叭管21，在筒體1 內下部裝有集水器反沖裝置36。本實用新型具有構 造簡單、造價低、工藝流程短、過濾效率高，凈水效果 好(出水濁度小于3毫克/升)、出水量大(每小時約 150噸)和占地面積小等優點。 【專利類型】實用新型 【申請人】殷振偉; 錢平江 【申請人類型】個人 【申請人地址】213169江蘇省武進縣雪堰橋 【申請人地區】中國 【申請人城市】常州市 【申請人區縣】武進區 【申請號】CN91213530.1 【申請日】1991-04-13 【申請年份】1991 【公開公告號】CN2087530U 【公開公告日】1991-10-30 【公開公告年份】1991 【授權公告號】CN2087530U 【授權公告日】1991-10-30 【授權公告年份】1991.0 【IPC分類號】B01D36/02; B01D24/00; B01D24/46; B01D36/00 【發明人】殷振偉; 錢平江 【主權項內容】1、一種雙向雙料壓力式過濾器，屬于給水、工業循環水、重金屬水和游泳池循環水凈化水處理設備，由有上封頭14和下封頭29的筒體1、上出水管12、放空管28、視鏡(30、31和32)、人孔(2和8)、進水管22、底腳27、筒體1內部的由拉管13固定的中間有孔的濾板15、裝在濾板15上的濾頭10和活絡蓋板11、由拉板6固定的水力旋轉管沖洗裝置34和聚苯乙烯泡沫塑料濾珠19組成，其特征是在水力旋轉管沖洗裝置34下方有一個裝在法蘭4上的由角鋼20固定的不銹鋼絲網5，在由拉板3固定的進水管22向上彎起的一端裝有布滿布水孔35的喇叭管21，在筒體1內下部裝有集水器反沖裝置36。 【當前權利人】殷振偉; 錢平江 【當前專利權人地址】江蘇省武進縣雪堰橋; 【引證次數】2.0 【被引證次數】7.0 【他引次數】2.0 【被他引次數】7.0 【家族引證次數】2.0 【家族被引證次數】7.0
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