【摘要】1.請求保護(hù)的外觀設(shè)計(jì)包含有色彩。 2.本外觀設(shè)計(jì)產(chǎn)品為平面產(chǎn)品，省略其他視圖。【專利類型】外觀設(shè)計(jì)【申請人】上海力國針織有限公司【申請人類型】企業(yè)【申請人地址】201101上海市閔行區(qū)聯(lián)寶路303號【申請人地區(qū)】中國【申請人城市】
【摘要】 微信公眾號馬克 數(shù)據(jù)網(wǎng) 微波等離子體的產(chǎn)生方法和裝置。涉及到微波 產(chǎn)生低溫等離子體的技術(shù)，適用于薄膜加工和材料處 理等。本發(fā)明在等離子體反應(yīng)室和諧振腔外設(shè)置一 對稀土永磁鐵，在等離子體區(qū)形成橫向“磁瓶”場，對 帶電粒子形成三維封閉約束，并產(chǎn)生電子回旋共振所 需的磁場區(qū)域。由磁控管產(chǎn)生的微波能量直接耦合 到諧振腔中使反應(yīng)室中的氣體離化形成等離子體。 對多種氣體包括反應(yīng)氣體，能在一個(gè)大氣壓到2× 10-4Torr氣壓下產(chǎn)生微波等離子體。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】四川大學(xué) 【申請人類型】學(xué)校 【申請人地址】610064四川省成都市九眼橋 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】成都市 【申請人區(qū)縣】武侯區(qū) 【申請?zhí)枴緾N90105790.8 【申請日】1990-03-23 【申請年份】1990 【公開公告號】CN1055275A 【公開公告日】1991-10-09 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號】CN1028588C 【授權(quán)公告日】1995-05-24 【授權(quán)公告年份】1995.0 【IPC分類號】H05H1/46 【發(fā)明人】郭華聰 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種微波等離子體的產(chǎn)生方法，當(dāng)氣體進(jìn)入反應(yīng)室[4]中，氣體中的自由電子受到外強(qiáng)磁場的約束，輸入由磁控管[2]產(chǎn)生的微波能量后，電子在ECR共振區(qū)域產(chǎn)生電子回旋共振，并吸收微波能量使氣體離化形成微波等離子體，其特征是所說的外強(qiáng)磁場是由放置在諧振腔[3]和反應(yīng)室[4]外面的一對永磁鐵產(chǎn)生的橫向“磁瓶”場，電子在“磁瓶”場兩端的ECR共振區(qū)[8]產(chǎn)生電子回流共振，所形成的微波等離子體被“磁瓶”場三維封閉地約束在反應(yīng)室[4]的區(qū)域[9]中。 【當(dāng)前權(quán)利人】四川大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】四川省成都市九眼橋 【專利權(quán)人類型】公立 【統(tǒng)一社會信用代碼】121000004000091949 【被引證次數(shù)】21.0 【被自引次數(shù)】3.0 【被他引次數(shù)】18.0 【家族被引證次數(shù)】21.0
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