【摘要】本實用新型公開了一種扇面圖案隨使用者扇動 而不斷變化的扇子，它將扇面的某些圖案用一條或若 干條柔性鏈條或繩子代替，這樣大大加強了扇面圖案 的動感，輕輕搖動扇子，扇面圖案變化千姿百態，其樂 無窮。更多數據：www.macrodatas
【摘要】 本實用新型是一種光刻機的自動調焦裝置，屬于 對已有光刻機自動調焦裝置中的調平機構，調焦機構 的進一步改進。其特征在于調平機構中，調平板由一 壓緊裝置固定，分別由螺紋副和電機組成的三個支撐 裝置，活動地支撐著調平板，由壓電陶瓷驅動器和彈 性支座以及零位調節裝置構成調焦機構。本實用新 型調焦精度提高70％，調平精度達1μm，對光刻物體 厚度差的適應能力顯著增強，抗干擾能力強，刻線質 量好，刻劃周期短，提高工效和成品率。 【專利類型】實用新型 【申請人】中國科學院光電技術研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】610209四川省成都市雙流350信箱 【申請人地區】中國 【申請人城市】成都市 【申請人區縣】雙流區 【申請號】CN90214965.2 【申請日】1990-09-28 【申請年份】1990 【公開公告號】CN2073594U 【公開公告日】1991-03-20 【公開公告年份】1991 【授權公告號】CN2073594U 【授權公告日】1991-03-20 【授權公告年份】1991.0 【IPC分類號】G03F7/207 【發明人】吳濯才; 劉業異; 謝傳缽; 姚漢民; 林大鍵 【主權項內容】1、一種包括光電探測信號處理系統以及調平機構和調焦機構的光刻機自動調焦裝置，其特征在于：調平機構中，調平板3由一壓緊裝置4固定，分別由螺紋付5和電機6組成的三個支撐裝置，活動地支撐著調平板3，由壓電陶瓷驅動器9和彈性支座以及零位調節裝置10構成調焦機構。 【當前權利人】中國科學院光電技術研究所 【當前專利權人地址】四川省成都市雙流350信箱 【統一社會信用代碼】12100000450811820A 【被引證次數】5.0 【被他引次數】5.0 【家族被引證次數】5.0
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