【摘要】一種可用于定量測量和控制濕度的電容式有機 膜濕度傳感器包括有上、下電極，硅片，二氧化硅層， 用聚酰亞胺高分子有機膜作介質的感濕膜。特征在 于它采用了硅片本身作為下電極，其上是二氧化硅 層，在此上面是感濕膜，感濕膜上是用金屬鋁層制作
【摘要】 本發明公開了一種利用側壁自對準技術制造 MESFET的結構，在金屬柵電極與漏區相鄰一側的 側壁絕緣膜厚度大于與源區相鄰一側的側壁絕緣膜 厚度，這樣的非對稱結構能夠提高MESFET的性 能。 【專利類型】發明申請 【申請人】中國科學院微電子中心 【申請人類型】其他 【申請人地址】100010北京市650信箱 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】東城區 【申請號】CN90104646.9 【申請日】1990-07-19 【申請年份】1990 【公開公告號】CN1049247A 【公開公告日】1991-02-13 【公開公告年份】1991 【授權公告號】CN1014755B 【授權公告日】1991-11-13 【授權公告年份】1991.0 【IPC分類號】H01L29/52; H01L29/784; H01L21/283; H01L21/02 【發明人】劉訓春; 王潤梅; 葉甜春; 曹振亞 【主權項內容】1、一種利用金屬柵電極側壁絕緣膜進行自對準制造MESFET的結構，其特征在于，金屬柵電極與漏區相鄰一側的側壁絕緣膜厚度大于它與源區相鄰一側的側壁絕緣膜厚度。。微信公眾號馬克數據網 【當前權利人】中國科學院微電子中心 【當前專利權人地址】北京市650信箱 【被引證次數】1.0 【被他引次數】1.0 【家族被引證次數】1.0
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