【摘要】本實用新型是一種可用于機動運輸車輛加油和 其它場合抽取液態物質時使用的工具。它的主要技 術特征是在三通管內安裝有抽壓裝置,該裝置控制了 兩個活動閥門的開啟和關閉,使本實用新型不僅可向 低位、水平位甚至高位抽吸、泵取液體。本實用新型
【摘要】 一種控制直拉硅單晶中氮含量的方法,用99.99%以上的純氮作為保護氣體,采用分段控制爐內氮氣壓力,特別是熔硅階段的氮氣壓力嚴格控制在266~1995Pa范圍內,獲得硅單晶中氮含量為1.0×1014~7.0×1014/cm3,且保證該硅單晶的成品率達到80%以上。 百度搜索馬 克 數 據 網 【專利類型】發明授權 【申請人】浙江大學 【申請人類型】學校 【申請人地址】310027浙江省杭州市玉泉 【申請人地區】中國 【申請人城市】杭州市 【申請人區縣】西湖區 【申請號】CN89105564.9 【申請日】1989-08-10 【申請年份】1989 【公開公告號】CN1014727B 【公開公告日】1991-11-13 【公開公告年份】1991 【授權公告號】CN1014727B 【授權公告日】1991-11-13 【授權公告年份】1991.0 【IPC分類號】C30B29/06; C03B15/02; C30B27/02 【發明人】李立本; 張錦心; 闕端麟 【主權項內容】1、一種控制直拉硅單晶中含氮量的方法,包括坩堝轉速為 6~10轉/分,坩堝內硅多晶投料量為2~40kg,晶體轉速 為12~25轉/分,拉速為0.8~2.2毫米/分,晶體直徑2″ ~5″,以99.99%以上的純氮作為保護氣體,爐內氮氣壓力 為266~3990Pa,氮氣流量為0.2~10m3/hr,制成氮 含量為1.0×1014~7.0×1014/cm3的硅單晶,其特征 在于: ——在熔硅階段,爐內氮氣壓力為266~1995Pa,流量 為0.2~4m3/hr; ——在拉晶階段,爐內氮氣壓力為2660~3990Pa,流 量為0.8~10m3/hr; ——在拉晶結束階段,爐內氮氣壓力為1330~1995Pa, 流量為0.6~4m3/hr。 【當前權利人】浙江大學 【當前專利權人地址】浙江省杭州市玉泉 【專利權人類型】公立 【統一社會信用代碼】12100000470095016Q 【引證次數】2.0 【被引證次數】2.0 【自引次數】2.0 【被自引次數】2.0 【家族引證次數】2.0 【家族被引證次數】9.0
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