【摘要】本發明涉及一種采用微轉移圖案化圖形作為掩 模板的光刻圖案化方法。該方法的薄膜結構具有金屬薄膜、熱 塑性高分子薄膜、光刻膠薄膜三層組成。金屬薄膜圖形采用微 轉移圖案化的方法得到，并可以作為后續的光刻掩模板，與傳 統的多層結構光刻圖案化
【摘要】 后視圖與主視圖相同，省略后視圖。 【專利類型】外觀設計 【申請人】長春海外制藥集團有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】130012吉林省長春市海外街1號 【申請人地區】中國 【申請人城市】長春市 【申請人區縣】朝陽區 【申請號】CN200630101438.5 【申請日】2006-11-17 【申請年份】2006 【公開公告號】CN300691237D 【公開公告日】2007-09-19 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN300691237D 【授權公告日】2007-09-19 【授權公告年份】2007.0 【發明人】王儉英 【主權項內容】無 【當前權利人】長春海外制藥集團有限公司 【當前專利權人地址】吉林省長春市海外街1號 【專利權人類型】有限責任公司(自然人投資或控股) 【統一社會信用代碼】91220101715314505M
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