【摘要】本實用新型一種導音管八度音鍵音孔控制機構 改良的薩克斯風，包含有：一主體、一導音管及一控制機構， 該導音管是連接于該主體的一端，該導音管下方具有一音孔； 該控制機構具有一支桿、一連動桿及一復位組件，該支桿與該 連動桿是形成一連動關系
【摘要】 本發明提供制作柵極的方法與蝕刻導電層的方法。首先，提供一基底，基底表面依序包括一介電層與一導電層。接著于導電層上形成一圖案化氮硅層當作圖案化硬掩模，且圖案化氮硅層的氫含量高于每立方厘米1E 22原子(atoms/cm3)。隨后利用圖案化硬掩模當作掩模來蝕刻導電層與介電層。最后，利用一蝕刻溶液去除圖案化硬掩模。 【專利類型】發明申請 【申請人】聯華電子股份有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】中國臺灣新竹科學工業園區 【申請人地區】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請號】CN200610084818.1 【申請日】2006-05-18 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101075557A 【公開公告日】2007-11-21 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100442445C 【授權公告日】2008-12-10 【授權公告年份】2008.0 【發明人】陳能國; 蔡騰群; 廖秀蓮 【主權項內容】1.一種制作柵極的方法，其包括下列步驟： 提供基底，該基底表面依序包括介電層與導電層； 于該導電層上形成圖案化硬掩模，且該圖案化硬掩模包括氫含量高于每 立方厘米1E？22原子的氮硅化合物； 利用該圖案化硬掩模當作掩模來蝕刻該導電層與該介電層；以及 利用蝕刻溶液去除該圖案化硬掩模。 【當前權利人】聯華電子股份有限公司 【當前專利權人地址】中國臺灣新竹科學工業園區 【被引證次數】6 【被他引次數】6.0 【家族被引證次數】6
未經允許不得轉載：http://www.mhvdw.cn/1776961930.html
喜歡就贊一下
