【摘要】1.后視圖與主視圖相同,省略后視圖。 2.右視圖與左視圖相同,省略右視圖。 3.底部為不常見部位,省略仰視圖。 4.請求保護的外觀設計包含有色彩。【專利類型】外觀設計【申請人】陳明學【申請人類型】個人【申請人地址】135007吉林省
【摘要】 一種濺鍍靶材,包含有至少一第一濺鍍面與至少一第二濺鍍面,該第二濺鍍面鄰設于該第一濺鍍面之側,且第二濺鍍面相對于第一濺鍍面呈傾斜狀;由此,利用調整與改變第一濺鍍面與第二濺鍍面的設置位置,以及第二濺鍍面相對于第一濺鍍面的傾斜角度,即可控制濺鍍靶材沉積于一基板表面所形成薄膜的分布狀態,使得原本膜厚較厚的區域補償至膜厚較薄的區域,進而所形成的薄膜膜厚較為均勻。 【專利類型】發明申請 【申請人】勝華科技股份有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】臺灣省臺中縣 【申請人地區】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請號】CN200610078102.0 【申請日】2006-04-26 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101063193A 【公開公告日】2007-10-31 【公開公告年份】2007 【IPC分類號】C23C14/34 【發明人】朱冠宇; 黃敬佩; 陳逸書; 林昆鋒 【主權項內容】1.一種濺鍍靶材,包含有至少一第一濺鍍面與至少一第二濺鍍面,該 第二濺鍍面鄰設于該第一濺鍍面,且該第二濺鍍面相對于該第一濺鍍面呈 傾斜狀。 【當前權利人】勝華科技股份有限公司 【當前專利權人地址】臺灣省臺中縣
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