【摘要】本實用新型公開了一種裁板機的夾具導(dǎo)引裝置，包含在一裁板機上的一工作平臺底部設(shè)置一裁板用刀輪，且平臺上設(shè)有一供刀輪伸出以裁切板料的輪槽，并于平臺上至少滑設(shè)一能夾持板料進行前、后移動的夾具，并在平臺上設(shè)有供各夾具前、后移動的導(dǎo)引槽，同時
【摘要】 一種非易失存儲器的制造方法，此方法系先提供襯底，并于襯底上形成由多個第一存儲單元與多個第二存儲單元所構(gòu)成之存儲胞數(shù)組。繼而，于存儲胞數(shù)組兩側(cè)的襯底中形成源極區(qū)與漏極區(qū)。然后，于襯底上形成圖案化之第一層間絕緣層，以形成第一溝槽與第二溝槽。繼之，于襯底上形成導(dǎo)體層，以于第一溝槽中形成源極線，于第二溝槽中形成多條導(dǎo)線。之后，于襯底上形成第二層間絕緣層，再于第二層間絕緣層及第一層間絕緣層中形成與漏極區(qū)接觸之導(dǎo)電插塞。繼而，于第二層間絕緣層上形成與導(dǎo)電插塞接觸之位線。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】力晶半導(dǎo)體股份有限公司 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】中國臺灣新竹市 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請?zhí)枴緾N200610007018.X 【申請日】2006-02-14 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101022090A 【公開公告日】2007-08-22 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN100452362C 【授權(quán)公告日】2009-01-14 【授權(quán)公告年份】2009.0 【IPC分類號】H01L21/8247; H01L27/115; H01L21/70 【發(fā)明人】魏鴻基; 畢嘉慧; 曾維中 【主權(quán)項內(nèi)容】1.一種非易失存儲器的制造方法，包括： 提供襯底； 于該襯底上形成多數(shù)個第一存儲單元，該些第一存儲單元彼此之間 具有間隙，各該些第一存儲單元由該襯底起依序包括第一復(fù)合介電層、 第一柵極與頂蓋層； 于該些第一存儲單元之側(cè)壁形成多數(shù)個絕緣間隙壁； 于該些第一存儲單元之間的該些間隙中形成多數(shù)個第二存儲單元， 該些第二存儲單元與該些第一存儲單元構(gòu)成存儲胞數(shù)組，各該些第二存 儲單元由該襯底起依序包括第二復(fù)合介電層與第二柵極； 于該存儲胞數(shù)組兩側(cè)的該襯底中形成源極區(qū)與漏極區(qū)； 于該襯底上形成第一層間絕緣層； 圖案化該第一層間絕緣層，以形成第一溝槽與多數(shù)個第二溝槽，該 第一溝槽暴露該源極區(qū)，該些第二溝槽分別暴露同一行之該些第二存儲 單元之該些第二柵極； 于該襯底上形成導(dǎo)體層，該導(dǎo)體層填滿該第一溝槽與該些第二溝 槽； 移除部分該導(dǎo)體層直到暴露該第一層間絕緣層，以于該第一溝槽中 形成源極線，并于該些第二溝槽中形成多數(shù)條導(dǎo)線； 于該襯底上形成第二層間絕緣層； 于該第二層間絕緣層及該第一層間絕緣層中形成與該該漏極區(qū)接 觸之一導(dǎo)電插塞；以及 于該第二層間絕緣層上形成與該導(dǎo)電插塞接觸之位線。 【當前權(quán)利人】力晶半導(dǎo)體股份有限公司 【當前專利權(quán)人地址】中國臺灣新竹市 【被引證次數(shù)】2 【被他引次數(shù)】2.0 【家族引證次數(shù)】5.0 【家族被引證次數(shù)】2
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