【摘要】本發(fā)明公開了一種轉(zhuǎn)化分流式熱交換器，由進(jìn)水 口(1)、集熱過水盤(2)、受熱盤(5)、出水口(8)組成，在進(jìn)水口 (1)至受熱 盤(5)連接過程中，增加了集熱過水盤(2)，集熱過水盤(2)的底 面(10)為傘狀斜面，此受熱盤(5)是
【摘要】 本發(fā)明公開了一種薄膜晶體管陣列基板及其制 作方法，其中此制作方法僅需進(jìn)行六道或甚至更少的光罩制造 工藝便可以制作出整合了彩色濾光圖案的薄膜晶體管陣列基 板。因此，本制作方法在實(shí)施上較為簡(jiǎn)單，并具有較低的生產(chǎn) 成本。此外，本制作方法不需在平坦層或彩色濾光層等較厚的 膜層中形成接觸窗來連接像素電極與源極/漏極，因此可有效降 低制造工藝的困難度。 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】廣輝電子股份有限公司 【申請(qǐng)人類型】企業(yè) 【申請(qǐng)人地址】臺(tái)灣省桃園縣 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】臺(tái)灣省 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610115775.9 【申請(qǐng)日】2006-08-16 【申請(qǐng)年份】2006 【公開公告號(hào)】CN1905166A 【公開公告日】2007-01-31 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN100452363C 【授權(quán)公告日】2009-01-14 【授權(quán)公告年份】2009.0 【IPC分類號(hào)】H01L21/84; H01L21/768; H01L27/12; H01L23/522; G02F1/1362; H01L21/70; G02F1/13; H01L23/52 【發(fā)明人】游偉盛; 陳建宏 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1.一種薄膜晶體管陣列基板的制作方法，包括： 提供一基板，其中該基板上劃分有多個(gè)次像素區(qū)； 在該基板上形成圖案化的一第一導(dǎo)電層、一絕緣層與一通道層，以在該基 板上定義出多條相互平行的柵極配線，且每一柵極配線的一端具有一柵極端埠； 在該些次像素區(qū)內(nèi)形成對(duì)應(yīng)的多個(gè)彩色濾光圖案； 移除每一柵極端埠的至少部份該絕緣層與該通道層，以暴露出該第一導(dǎo)電 層； 移除部份厚度的該些彩色濾光圖案，以暴露出該些柵極配線； 形成圖案化的一透明電極層與一第二導(dǎo)電層，以定義出多條數(shù)據(jù)配線、多 個(gè)電極圖案與多個(gè)源極/漏極，其中該些數(shù)據(jù)配線相互平行并與該些柵極配線相 交，該些電極圖案對(duì)應(yīng)位于該些次像素區(qū)內(nèi)，該些源極/漏極對(duì)應(yīng)于該些次像素 區(qū)而配置于所屬的該柵極配線上方，且每一源極/漏極分別連接其所對(duì)應(yīng)的該數(shù) 據(jù)配線與該電極圖案； 在該基板上形成一黑色矩陣，且該黑色矩陣至少暴露出該些電極圖案；以 及 以該黑色矩陣為罩幕移除該些電極圖案中的該第二導(dǎo)電層。 【當(dāng)前權(quán)利人】友達(dá)光電股份有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】中國(guó)臺(tái)灣新竹科學(xué)工業(yè)園區(qū) 【引證次數(shù)】1.0 【被引證次數(shù)】8 【他引次數(shù)】1.0 【被自引次數(shù)】2.0 【被他引次數(shù)】6.0 【家族引證次數(shù)】6.0 【家族被引證次數(shù)】8
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