【摘要】本發明是有關于一半導體制造的系統與方法,包 含由一第一遮罩層與一鄰近層形成一有圖案的疊對標的。此疊 對標的以輻射線照射。因此,反射的光線可由其圖案和鄰近層 所偵測出來,且此圖案的位置可經由反射光線而確認。本發明 更包括一半導體制程的
【專利類型】外觀設計 【申請人】英業達股份有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】中國臺灣臺北市 【申請人地區】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請號】CN200630134763.1 【申請日】2006-08-11 【申請年份】2006 【公開公告號】CN3673854D 【公開公告日】2007-07-25 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN3673854D 【授權公告日】2007-07-25 【授權公告年份】2007.0 【發明人】許榮蒼; 楊曉君 【主權項內容】無 【當前權利人】英業達股份有限公司 【當前專利權人地址】中國臺灣臺北市
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