【摘要】本實(shí)用新型公開了一種折盒機(jī)的自動(dòng)分頁(yè)機(jī)構(gòu)，其包含一基座，一分頁(yè)滾輪及一驅(qū)動(dòng)輪；其中，該基座具有一容置凹室，該分頁(yè)滾輪組配在該容置凹室內(nèi)，且一心軸二端分別與分頁(yè)滾輪及驅(qū)動(dòng)輪結(jié)合。藉此驅(qū)動(dòng)輪轉(zhuǎn)動(dòng)以驅(qū)動(dòng)分頁(yè)滾輪，則移動(dòng)至分頁(yè)滾輪底面的重迭
【摘要】 一種使用純H2O 等離子體的原位實(shí)施方法，用來(lái)從基材或晶圓移除光阻層，而 不會(huì)在基材或晶圓上累積電荷。以及，一種使用純 H2O等離子體或純 H2O蒸氣的原位實(shí)施方法，用來(lái) 從此基材或晶圓表面移除或釋放經(jīng)由一個(gè)或多個(gè)集成電路建 構(gòu)制程所累積的電荷。。 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司 【申請(qǐng)人類型】企業(yè) 【申請(qǐng)人地址】臺(tái)灣省新竹市新竹科學(xué)工業(yè)園區(qū)力行六路8號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】臺(tái)灣省 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610078447.6 【申請(qǐng)日】2006-05-26 【申請(qǐng)年份】2006 【公開公告號(hào)】CN1941279A 【公開公告日】2007-04-04 【公開公告年份】2007 【發(fā)明人】李元榜; 吳子揚(yáng); 潘昇良; 林耀輝; 賴育志; 陳德芳; 林佩璇; 吳善華; 劉鴻興 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種移除累積于一基材或一晶圓表面的電荷的方法，其特征在于其 包括： 置放該基材或該晶圓于一反應(yīng)室中； 在該反應(yīng)室中產(chǎn)生一水等離子體。 【當(dāng)前權(quán)利人】臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】臺(tái)灣省新竹市新竹科學(xué)工業(yè)園區(qū)力行六路8號(hào) 【被引證次數(shù)】6 【家族被引證次數(shù)】10
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