【摘要】本實用新型涉及一種新型車牌。該車牌包括一個與普通車牌大小相當的燈箱，燈箱正面嵌有由透光亞克力板制成的車牌號碼，燈箱內設有光源。燈箱內的光源與汽車大燈電源相連接，使得在大燈開啟時，燈箱光源同步開啟。本實用新型解決了普通車牌發光不足的問
【摘要】 本發明提供一種混合式化學機械拋光工藝的線上控制方法，首先提供一混合式化學機械拋光系統，包含第一拋光平臺及第二拋光平臺，分別為不同類型研磨拋光墊。提供一批次的待拋光產品晶片，其上已形成圖案化結構，及第一介電層沉積在該圖案化結構及第二介電層上。依序在該第一拋光平臺上拋光該批次中至少3片的先行產品晶片，線上進行該先行產品晶片上剩余介電層厚度的量測，建立起一線性的拋光速率表，再依據該拋光速率表，依序在該第一拋光平臺上拋光該批次中剩下的產品晶片，將該第一介電層厚度拋光至目標厚度。 【專利類型】發明申請 【申請人】聯華電子股份有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】中國臺灣新竹科學工業園區 【申請人地區】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請號】CN200610092381.6 【申請日】2006-06-02 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101081488A 【公開公告日】2007-12-05 【公開公告年份】2007 【IPC分類號】B24B51/00; B24B29/02; H01L21/304; B24B29/00; H01L21/02 【發明人】朱辛堃; 陳彥竹; 蔡騰群; 陳佳禧 【主權項內容】1.一種混合式化學機械拋光工藝的線上控制方法，包括以下的步驟： 提供混合式化學機械拋光系統，包括至少一第一拋光平臺以及一第二拋 光平臺，其中該第一拋光平臺以及該第二拋光平臺上分別設有不同類型的研 磨拋光墊； 提供一批次的待拋光產品晶片，其中各該待拋光產品晶片上皆已形成有 圖案化結構，以及第一介電層沉積在該圖案化結構以及第二介電層上； 依序在該第一拋光平臺上拋光該批次的待拋光產品晶片中的至少3片的 先行產品晶片，分別去除各該先行產品晶片上面不同厚度的該第一介電層； 線上進行各該先行產品晶片上剩余介電層厚度的量測，并針對該第一拋 光平臺上的研磨拋光墊構成相對應的拋光厚度對拋光時間的作圖，建立起線 性的拋光速率表；以及 依據該先行產品晶片所建立起來的該拋光速率表，依序在該第一拋光平 臺上拋光該批次中剩下的產品晶片，將剩下的各該產品晶片上的該第一介電 層厚度拋光控制在預定的目標厚度。 【當前權利人】聯華電子股份有限公司 【當前專利權人地址】中國臺灣新竹科學工業園區 【被引證次數】7 【被他引次數】7.0 【家族被引證次數】7
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