【摘要】本實(shí)用新型是一種激光管電極插座，包括安裝 座、高壓導(dǎo)線和緊固鏍釘，其結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)特征在于：在安裝座上 加工一貫通孔，在其中間并與之軸線垂直的位置處加工一開口 于安裝座側(cè)壁的電極插孔，高壓導(dǎo)線的導(dǎo)體前端安裝一固定帽 并插入貫通孔的一端，貫
【摘要】 本實(shí)用新型涉及一種用于束流取樣測(cè)量的固定 法拉第筒裝置，屬于半導(dǎo)體器件制造領(lǐng)域，通過(guò)本裝置對(duì)束流 的取樣分析，可得知終端的束流大小，控制晶片上精確的注入 劑量，是一種具有自冷卻效果的，針對(duì)靶室終端而設(shè)計(jì)的用于 束流取樣測(cè)量的固定法拉第筒裝置，固定法拉第筒包括：在一 法拉第外腔體內(nèi)，一法拉第內(nèi)腔體通過(guò)一絕緣瓷固定在法拉第 外腔體上、在法拉第內(nèi)腔體和法拉第外腔體之間設(shè)置一固定在 絕緣瓷上的抑制極，所述抑制極與法拉第內(nèi)腔體之間保持一定 的空隙，法拉第外腔體外固定連接一水冷板，所述法拉第筒通 過(guò)水冷板懸掛在起固定整個(gè)裝置的大法蘭下部，大法蘭上設(shè)一 起密封作用的O型密封圈，能夠精確的進(jìn)行束流的取樣測(cè)量， 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，運(yùn)行可靠。。 【專利類型】實(shí)用新型 【申請(qǐng)人】北京中科信電子裝備有限公司 【申請(qǐng)人類型】企業(yè) 【申請(qǐng)人地址】100036北京市海淀區(qū)復(fù)興路乙20號(hào)匯通商務(wù)樓北門44號(hào)辦公樓2層?xùn)|段 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】北京市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】海淀區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200620008177.7 【申請(qǐng)日】2006-03-17 【申請(qǐng)年份】2006 【公開公告號(hào)】CN2906915Y 【公開公告日】2007-05-30 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN2906915Y 【授權(quán)公告日】2007-05-30 【授權(quán)公告年份】2007.0 【發(fā)明人】易文杰; 郭健輝; 彭立波; 謝均宇 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】 1.一種用于束流取樣測(cè)量的固定法拉第筒裝置，其特征在于：固定 法拉第筒包括：在一法拉第外腔體(3)內(nèi)，一法拉第內(nèi)腔體(2)通過(guò) 一絕緣瓷(13)固定在法拉第外腔體(3)上，其相互絕緣，在法拉第內(nèi) 腔體(2)和法拉第外腔體(3)之間設(shè)置一固定在絕緣瓷(13)上的抑 制極(4)，所述抑制極(4)與法拉第內(nèi)腔體(2)之間保持一定的空隙， 法拉第外腔體(3)外固定連接有一水冷板(14)，所述法拉第筒通過(guò)水 冷板(14)懸掛在起固定整個(gè)裝置的大法蘭(7)下部，大法蘭(7)上 設(shè)有一個(gè)起密封作用的O型密封圈(15)。 【當(dāng)前權(quán)利人】北京中科信電子裝備有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】北京市海淀區(qū)復(fù)興路乙20號(hào)匯通商務(wù)樓北門44號(hào)辦公樓2層?xùn)|段 【專利權(quán)人類型】有限責(zé)任公司(法人獨(dú)資) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】911101127513429762 【被引證次數(shù)】TRUE 【家族被引證次數(shù)】TRUE
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