【摘要】一種后梭形幕墻由立挺,橫梁,開啟扇,固定扇,玻璃,膠,附件組成,幕墻立挺與幕墻玻璃相鄰一側(cè)為平面,幕墻立挺后部為梭形或半圓形結(jié)構(gòu),幕墻橫梁與幕墻玻璃相鄰一側(cè)為平面,在平面上設(shè)支撐筋,幕墻橫梁后部為梭形或半圓形結(jié)構(gòu)或方形結(jié)構(gòu),幕墻玻璃
【摘要】 一種掩埋結(jié)構(gòu)鋁銦鎵砷分布反饋激光器的制作方法,其特征在于,包括如下步驟:(1)在襯底上大面積制作吸收型增益耦合光柵;(2)利用等離子體化學(xué)氣相沉積技術(shù),在外延片上生長(zhǎng)介質(zhì)膜,采用光刻腐蝕技術(shù),制作介質(zhì)掩模圖形;(3)利用窄條選擇外延生長(zhǎng)技術(shù),依次生長(zhǎng)下限制層、有源區(qū)、上限制層和保護(hù)層,形成梯形的結(jié)構(gòu);(4)在外延片上接著生長(zhǎng)接觸層;(5)在外延片上大面積生長(zhǎng)一層絕緣層,并在梯形有源區(qū)的上方開出電極窗口;(6)在外延片上制作p面電極;(7)對(duì)外延片的襯底背面減薄,制作n面電極;(8)解理外延片制作管芯。 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所 【申請(qǐng)人類型】科研單位 【申請(qǐng)人地址】100083北京市海淀區(qū)清華東路甲35號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】北京市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】海淀區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610078213.1 【申請(qǐng)日】2006-05-12 【申請(qǐng)年份】2006 【公開公告號(hào)】CN101071935A 【公開公告日】2007-11-14 【公開公告年份】2007 【發(fā)明人】馮文; 潘教青; 周帆; 王寶軍; 趙玲娟; 朱洪亮; 王圩 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1.一種掩埋結(jié)構(gòu)鋁銦鎵砷分布反饋激光器的制作方法, 其特征在于,包括如下步驟: (1)在襯底上大面積制作吸收型增益耦合光柵; (2)利用等離子體化學(xué)氣相沉積技術(shù),在外延片上生長(zhǎng) 介質(zhì)膜,采用光刻腐蝕技術(shù),制作介質(zhì)掩模圖形; (3)利用窄條選擇外延生長(zhǎng)技術(shù),依次生長(zhǎng)下限制層、 有源區(qū)、上限制層和保護(hù)層,形成梯形的結(jié)構(gòu); (4)在外延片上接著生長(zhǎng)接觸層; (5)在外延片上大面積生長(zhǎng)一層絕緣層,并在梯形有源 區(qū)的上方開出電極窗口; (6)在外延片上制作p面電極; (7)對(duì)外延片的襯底背面減薄,制作n面電極; (8)解理外延片制作管芯。 微信 【當(dāng)前權(quán)利人】中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】北京市海淀區(qū)清華東路甲35號(hào) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】12100000400012385U 【被引證次數(shù)】7 【被他引次數(shù)】7.0 【家族被引證次數(shù)】7
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