【摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種氣缸式后緩沖系統(tǒng)激光 自動(dòng)彎沉儀，包括車(chē)體和測(cè)量機(jī)構(gòu)，測(cè)量機(jī)構(gòu)通過(guò)提升、下放 機(jī)構(gòu)設(shè)置在車(chē)體底部，測(cè)量機(jī)構(gòu)包括導(dǎo)向架、測(cè)量架和測(cè)量臂， 測(cè)量臂位于測(cè)量架的兩側(cè)，其上安裝有探測(cè)頭，測(cè)量架上設(shè)有 導(dǎo)向柱，導(dǎo)向架的尾部
【摘要】 本發(fā)明一種提高氧化鋁/砷化鎵分布布拉格反射鏡界面質(zhì)量的方法，其特征在于，包括如下步驟：(A)在半絕緣砷化鎵(100)襯底上，使用分子束外延的方法外延生長(zhǎng)200nm的砷化鎵緩沖層；(B)在砷化鎵緩沖層上生長(zhǎng)7個(gè)周期的砷化鋁/砷化鎵分布布拉格反射鏡；(C)對(duì)砷化鋁/砷化鎵分布布拉格反射鏡進(jìn)行刻蝕至襯底，形成條形結(jié)構(gòu)；(D)將刻蝕好的材料放入氧化爐中，進(jìn)行濕法氧化，以把砷化鋁氧化成氧化鋁；(E)在氧化爐中退火，同時(shí)關(guān)閉水蒸氣，向爐中通氮?dú)膺M(jìn)行氣體保護(hù)，以提高氧化鋁/砷化鎵分布布拉格反射鏡的界面質(zhì)量。 【專(zhuān)利類(lèi)型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所 【申請(qǐng)人類(lèi)型】科研單位 【申請(qǐng)人地址】100083北京市海淀區(qū)清華東路甲35號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】北京市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】海淀區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610011224.8 【申請(qǐng)日】2006-01-18 【申請(qǐng)年份】2006 【公開(kāi)公告號(hào)】CN101005194A 【公開(kāi)公告日】2007-07-25 【公開(kāi)公告年份】2007 【IPC分類(lèi)號(hào)】H01S5/183; H01S5/187; H01S5/00 【發(fā)明人】李若園; 徐波; 王占國(guó) 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種提高氧化鋁/砷化鎵分布布拉格反射鏡界面質(zhì)量 的方法，其特征在于，包括如下步驟： (A)在半絕緣砷化鎵(100)襯底上，使用分子束外延 的方法外延生長(zhǎng)200nm的砷化鎵緩沖層； (B)在砷化鎵緩沖層上生長(zhǎng)7個(gè)周期的砷化鋁/砷化鎵分 布布拉格反射鏡； (C)對(duì)砷化鋁/砷化鎵分布布拉格反射鏡進(jìn)行刻蝕至襯 底，形成條形結(jié)構(gòu)； (D)將刻蝕好的材料放入氧化爐中，進(jìn)行濕法氧化，以 把砷化鋁氧化成氧化鋁； (E)在氧化爐中退火，同時(shí)關(guān)閉水蒸氣，向爐中通氮?dú)?進(jìn)行氣體保護(hù)，以提高氧化鋁/砷化鎵分布布拉格反射鏡的界 面質(zhì)量。 【當(dāng)前權(quán)利人】中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所 【當(dāng)前專(zhuān)利權(quán)人地址】北京市海淀區(qū)清華東路甲35號(hào) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】12100000400012385U 【被引證次數(shù)】8 【被他引次數(shù)】8.0 【家族被引證次數(shù)】8
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