【摘要】本發明公開了一種制備熱塑性樹脂發泡制品的方法。本發明利用超聲波制備熱塑性發泡制品的方法，包括如下步驟：1)將熱塑性樹脂樣品置于高壓釜中，通入高壓流體，恒溫恒壓，使高壓流體滲透到樣品中；2)將高壓流體釋放，取出樣品，放入處于超聲波環境
【摘要】 一種多層金屬間氧化物脊形波導結構，包括：一硅襯底；一氧化隔離層位于襯底和阱上，用于隔離不同的電子器件；一PSG磷硅玻璃制作在氧化隔離層、有源區和阱上；第一層金屬制作在PSG磷硅玻璃上，作為波導下包層；第一層氧化層制作在第一層金屬上；第二層金屬制作在第一層氧化層上；第二層氧化層制作在第二層金屬上；第三層金屬制作在第二層氧化層上；第三層氧化層制作在第三層金屬上；第四層金屬位于頂層制作在第三層氧化層上；第一層金屬和第二層金屬接觸、第二層金屬和第三層金屬接觸、第三層金屬和第四層金屬 接觸作為脊形波導橫向限制層，使光線被限制在脊形波導內。 【專利類型】發明申請 【申請人】中國科學院半導體研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】100083北京市海淀區清華東路甲35號 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】海淀區 【申請號】CN200610058659.8 【申請日】2006-03-06 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101034185A 【公開公告日】2007-09-12 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100478718C 【授權公告日】2009-04-15 【授權公告年份】2009.0 【發明人】陳弘達; 黃北舉; 顧明; 劉海軍 【主權項內容】1、一種多層金屬間氧化物脊形波導結構，包括： 多層金屬和多層金屬間氧化層；多層金屬作為覆蓋層，而 多層金屬間氧化層作為脊形波導芯層；由于發光二級管和探測 器二極管均可以通過硅襯底上的有源區和阱形成，因此該結構 脊形光波導可與光源和探測器集成；其特征在于，其結構包括： 一硅襯底； 一氧化隔離層，該氧化隔離層位于襯底和阱上，用于隔離 不同的電子器件； 一PSG磷硅玻璃，該PSG磷硅玻璃制作在氧化隔離層、有 源區和阱上； 第一層金屬，該第一層金屬制作在PSG磷硅玻璃上，作為 波導下包層； 第一層氧化層，該第一層氧化層制作在第一層金屬上； 第二層金屬，該第二層金屬制作在第一層氧化層上； 第二層氧化層，該第二層氧化層制作在第二層金屬上； 第三層金屬，該第三層金屬制作在第二層氧化層上； 第三層氧化層，該第三層氧化層制作在第三層金屬上； 第四層金屬位于頂層，該第四層金屬位于頂層制作在第三 層氧化層上； 第一層金屬和第二層金屬接觸、第二層金屬和第三層金屬 接觸、第三層金屬和第四層金屬接觸作為脊形波導橫向限制 層，使光線被限制在脊形波導內。。 【當前權利人】中國科學院半導體研究所 【當前專利權人地址】北京市海淀區清華東路甲35號 【統一社會信用代碼】12100000400012385U 【被引證次數】TRUE 【家族被引證次數】TRUE
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