【摘要】一種基于硅襯底無(wú)犧牲層的非制冷紅外焦平面陣列，其與反光板連接的懸臂梁固支在利用各向同性腐蝕出的近似楔型硅柱上，其陣列中單元結(jié)構(gòu)分為獨(dú)立式和嵌套式。該非制冷紅外焦平面陣列器件的工藝步驟如下：1.在硅基片上淀積氮化硅薄膜；2.在正面氮化
【摘要】 省略仰視圖。 【專利類型】外觀設(shè)計(jì) 【申請(qǐng)人】北京興大豪科技開發(fā)有限公司 【申請(qǐng)人類型】企業(yè) 【申請(qǐng)人地址】100016北京市朝陽(yáng)區(qū)酒仙橋東路1號(hào)M7座 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】北京市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】朝陽(yáng)區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200630133798.3 【申請(qǐng)日】2006-06-30 【申請(qǐng)年份】2006 【公開公告號(hào)】CN3643384D 【公開公告日】2007-05-09 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN3643384D 【授權(quán)公告日】2007-05-09 【授權(quán)公告年份】2007.0 【發(fā)明人】譚慶 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】無(wú) 【當(dāng)前權(quán)利人】北京興大豪科技開發(fā)有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】北京市朝陽(yáng)區(qū)酒仙橋東路1號(hào)M7座
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