【摘要】本發明提出一種家庭網絡智能遙控器(Universal remote controller ofhome network),可遙控所有的家電和家庭數字設備。該智能遙控器由兩部分組成,一個與家庭網絡連接的基座,一個可以放置在基座上,也可
【摘要】 本發明是一種平行板電容驅動的MEMS彎曲扭 轉疲勞實驗裝置,屬于微納米尺度材料特性基礎研究領域。該 裝置通過兩個平行板電容驅動器(3、12)分別實現對疲勞試樣(5) 的彎曲和扭轉驅動。疲勞試樣(5)一端與接地電極(4)連接,另一 端與第三平行板電容驅動器(12)的上極板連接。試樣(5)中部的 與其垂直的橫梁的一端與第一平行板電容驅動器(3)的上極板 相連,另一端與平行板電容傳感器的上極板相連,平行板電容 傳感器的下極板通過檢測電極接外部振幅檢測電路從而實時 的獲得試樣的振動幅度。本發明采用兩個平行板電容驅動器分 別對試樣進行彎曲和扭轉驅動,并且互不影響,克服了現有裝 置只能模擬MEMS構件單相應力工作環境的不足。 【專利類型】發明申請 【申請人】北京工業大學 【申請人類型】學校 【申請人地址】100022北京市朝陽區平樂園100號 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】朝陽區 【申請號】CN200610114437.3 【申請日】2006-11-10 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1945270A 【公開公告日】2007-04-11 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100520348C 【授權公告日】2009-07-29 【授權公告年份】2009.0 【IPC分類號】G01N3/20; G01N3/08; G01M19/00; G01M99/00 【發明人】尚德廣; 賈冠華; 李立森; 王瑞杰; 孫國芹; 鄧靜; 劉豪 【主權項內容】1、平行板電容驅動的MEMS彎曲扭轉疲勞實驗裝置,其特征在于:主要包括 有第一驅動電極(1)、第二驅動電極(10)、接地電極(4)、檢測電極(8)、 實驗試樣(5)、由第一底電極(2)和第一上級板(34)組成的第一平行板電 容(3)、第二底電極(7)和第二上級板(35)組成的第二平行板電容(6)、 第三底電極(9)和第三上級板(33)組成的第三平行板電容(12);其中, 實驗試樣(5)為一端固定于接地電極(4)的懸臂梁,另一端與第三平行板 電容(12)的第三上極板(33)連接,試樣(5)的中部設有與其垂直的橫梁, 橫梁的一端與第一平行板電容(3)的第一上極板(34)相連,橫梁的另一端 與第二平行板電容(6)的第二上級板(35)相連;第一上級板(34)、第二 上級板(35)、第三上級板(33)、實驗試樣(5)及其橫梁連為一體且在接地 電極(4)的固定層的支撐下懸空,該整體通過接地電極(4)接地;第一底 電極(2)通過第一驅動電極(1)通交流電,第三底電極(9)通過驅動電極 接交流電;第二底電極(7)通過第二檢測電極(8)接外部振幅檢測電路來 獲得實驗過程中實驗試樣(5)得振動幅度,第一上級板(34)、第二上級板 (35)、第三上級板(33)、實驗試樣(5)通過接地電極(4)接地。 【當前權利人】北京工業大學 【當前專利權人地址】北京市朝陽區平樂園100號 【專利權人類型】公立 【統一社會信用代碼】12110000400687411U 【被引證次數】6 【被他引次數】6.0 【家族引證次數】7.0 【家族被引證次數】6
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