【摘要】一種余熱回收型布袋除塵裝置，包括布袋除塵裝置，其特征是：在所述的布袋除塵裝置的入口安裝有余熱回收裝置，該余熱回收裝置為超導熱管換熱器，該換熱器的蒸發段作為煙氣通道串連在所述的布袋除塵裝置的入口，該換熱器的冷凝段作為散熱通道與其它吸熱
【摘要】 本發明公開一種薄膜晶體管液晶顯示器陣列基板的制造方法。包括以下步驟：首先，在襯底上形成第一層金屬薄膜；用第一塊掩膜版定義第一層金屬薄膜的圖案，形成柵極掃描線和柵電極。接下來，在柵極金屬上面依次沉積第一層絕緣層、有源層、歐姆接觸層和第二層金屬薄膜；使用第二塊掩膜版，即第一塊灰色調掩膜版先定義第二層金屬薄膜的圖案，形成源漏電極和數據掃描線；其次形成有源層孤島和薄膜晶體管器件導電溝道。在第二層金屬上面形成第二層絕緣薄膜。最后，使用第三塊掩膜版，即第二塊灰色調掩膜版定義第二層絕緣薄膜，形成第二層絕緣薄膜的圖案，使得部分第二層金屬和部分第二層絕緣層暴露出來，而其它部分則被光敏感材料保護。在此之上沉積一層透明導電薄膜，然后去除光敏感材料和其上附著的 導電薄膜，最后形成導電薄膜的圖案。 【專利類型】發明申請 【申請人】京東方科技集團股份有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】100016北京市朝陽區酒仙橋路10號 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】朝陽區 【申請號】CN200610057242.X 【申請日】2006-03-09 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101034262A 【公開公告日】2007-09-12 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100517075C 【授權公告日】2009-07-22 【授權公告年份】2009.0 【發明人】龍春平 【主權項內容】1、一種制作薄膜晶體管陣列基板的方法，其特征在于： 首先，提供一個絕緣透明襯底；在絕緣襯底上依次形成第一層金屬薄膜 和一層光刻膠；使用第一塊掩膜版定義光刻膠的圖案，并刻蝕形成第一層金 屬薄膜的圖案，即柵電極和柵極掃描線； 然后，在基板上沉積一層絕緣層薄膜、至少一層半導體層薄膜和第二層 金屬薄膜；在金屬薄膜上涂布一層光刻膠；使用第二塊掩膜版，即第一塊灰 色調掩膜版，經過曝光顯影和刻蝕形成薄膜晶體管硅島，利用光刻膠灰化工 藝和刻蝕，形成源漏電極和薄膜晶體管開關器件的溝道； 最后，在基板上沉積一層鈍化層薄膜；在鈍化層薄膜上涂布一層光刻膠； 使用第三塊掩膜版，即第二塊灰色調掩膜版，經過曝光顯影后得到無光刻膠 的區域，保留部分光刻膠的區域和保留全部光刻膠的區域；刻蝕無光刻膠的 區域得到鈍化層過孔；完成刻蝕后，對光刻膠進行灰化工藝，全部去除保留 部分光刻膠的區域的光刻膠，去除一部分厚度的保留全部光刻膠的區域的光 刻膠；在陣列基板上沉積一層透明像素電極薄膜，并結合離地剝離工藝，剝 離尚存的光刻膠，其上沉積的透明導電薄膜也隨之去除，殘留的透明導電薄 膜就形成了透明像素電極圖案并通過鈍化層過孔與薄膜晶體管漏電極形成電 連接。 【當前權利人】北京京東方光電科技有限公司; 京東方科技集團股份有限公司 【當前專利權人地址】北京市大興區北京經濟技術開發區西環中路8號; 北京市朝陽區酒仙橋路10號 【專利權人類型】其他股份有限公司(上市) 【統一社會信用代碼】911100001011016602 【被引證次數】TRUE 【家族被引證次數】TRUE
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