【摘要】一種化學氣相沉積制備高光學均勻性硫化鋅球罩的設備，是在高溫真空爐內設有鋅池、鋅蒸汽噴嘴、硫化氫噴嘴、沉積室、和卸料箱，沉積室側壁裝有凹模形式的球罩模具，并在球罩模具的中心位置上設有擋板。本實用新型的沉積室側板上的球罩模具、擋板結構，
【專利類型】外觀設計 【申請人】田金甌 【申請人類型】個人 【申請人地址】100013北京市朝陽區(qū)和平街十區(qū)18樓1單元11號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區(qū)縣】朝陽區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200630138259.9 【申請日】2006-10-23 【申請年份】2006 【公開公告號】CN300690032D 【公開公告日】2007-09-12 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN300690032D 【授權公告日】2007-09-12 【授權公告年份】2007.0 【發(fā)明人】田金甌 【主權項內容】無 【當前權利人】田金甌 【當前專利權人地址】北京市朝陽區(qū)和平街十區(qū)18樓1單元11號
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