【摘要】本發(fā)明涉及一種工作在扭轉(zhuǎn)模態(tài)下的諧振式微機(jī)械懸臂梁傳感器及其電磁激勵(lì)結(jié)構(gòu)、制作方法及應(yīng)用。其特征在于通過采用與懸臂梁扭轉(zhuǎn)諧振模態(tài)的振形相匹配的優(yōu)化布置電磁激勵(lì)線圈,產(chǎn)生與懸臂梁扭轉(zhuǎn)方向相同的洛侖茲力力矩激勵(lì)起懸臂梁的扭轉(zhuǎn)模態(tài),即依據(jù)
【專利類型】外觀設(shè)計(jì) 【申請(qǐng)人】上海臺(tái)項(xiàng)工藝制品有限公司 【申請(qǐng)人類型】企業(yè) 【申請(qǐng)人地址】201101上海市閔行區(qū)星風(fēng)路518號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國 【申請(qǐng)人城市】上海市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200630040652.4 【申請(qǐng)日】2006-09-18 【申請(qǐng)年份】2006 【公開公告號(hào)】CN300684607D 【公開公告日】2007-08-29 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN300684607D 【授權(quán)公告日】2007-08-29 【授權(quán)公告年份】2007.0 【發(fā)明人】林汝聰 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】無 【當(dāng)前權(quán)利人】上海臺(tái)項(xiàng)工藝制品有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市閔行區(qū)星風(fēng)路518號(hào) 【專利權(quán)人類型】有限責(zé)任公司(自然人投資或控股)
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