【摘要】本發(fā)明浸漆工藝涉及電機(jī)浸漆工藝。一種浸漆工藝，涉及電機(jī)浸漆，包括下述步驟：第一步，繞制線圈；第二步，包括嵌線、焊引出線、焊接處絕緣；第三步：進(jìn)行浸漆，浸絕緣漆后進(jìn)行烘焙、干燥處理，其特征在于：在第二步中，增加一項對焊點和或引線端子采
【摘要】 本發(fā)明涉及一種光讀出非致冷紅外成像陣列器 件及其制作方法，其特征在于：由硅襯底上一系列像素單元組 成，每個像素單元的兩個錨柱立于硅襯底上，支撐像素單元， 兩條絕熱梁一端與錨柱相連接，另一端與“雙材料梁－微鏡一 體化”結(jié)構(gòu)相連接，像素單元與硅襯底之間的間隙構(gòu)成了紅外 吸收共振腔；所述陣列器件的制作是首先首先在硅襯底上制作 出錨柱，然后根據(jù)所選犧牲層腐蝕法用而選擇是否生長保護(hù)層 和選擇哪種材料作保護(hù)層，然后沉積犧牲層材料和制作結(jié)構(gòu)所 需材料，制作出像素單元圖形后，再腐蝕掉犧牲層材料，進(jìn)行 結(jié)構(gòu)釋放。通過BMB－MM結(jié)構(gòu)既能實現(xiàn)紅外敏感，又能調(diào) 制和輸出讀出可見光信號，提高填充因子并具有較好的熱－機(jī) 械響應(yīng)特性和噪聲等效溫差特性。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】200050上海市長寧區(qū)長寧路865號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】長寧區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200610030990.9 【申請日】2006-09-08 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1915796A 【公開公告日】2007-02-21 【公開公告年份】2007 【IPC分類號】B81B7/02; B81C1/00; B81B7/00 【發(fā)明人】楊廣立; 馮飛; 熊斌; 王躍林 【主權(quán)項內(nèi)容】1、一種光讀出非制冷紅外成像陣列器件，其特征在于： 1)由硅襯底上(3)一系列像素單元組成，每個像素單元由兩個錨柱(6)、 兩條單層材料的絕熱梁(5)，一個雙層材料的“雙材料梁-微鏡一體化”結(jié) 構(gòu)(4)和一個紅外吸收的共振腔(7)構(gòu)成； 2)錨柱(6)立于硅襯底(3)上，支撐像素單元，兩條絕熱梁(5)一 端與錨柱(6)相連接，另一端與“雙材料梁-微鏡一體化””結(jié)構(gòu)(4)相 連接，像素單元與硅襯底之間的間隙構(gòu)成了紅外吸收共振腔(7)； 3)所述的“雙材料梁-微鏡一體化”結(jié)構(gòu)是將雙材料梁與微鏡結(jié)構(gòu)集成 在一起。 【當(dāng)前權(quán)利人】中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市長寧區(qū)長寧路865號 【統(tǒng)一社會信用代碼】12100000425006790C 【被引證次數(shù)】4 【被他引次數(shù)】4.0 【家族被引證次數(shù)】4
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