【摘要】仰視圖無設計要點,省略仰視圖。【專利類型】外觀設計【申請人】上海楊藝園林工程有限公司【申請人類型】企業【申請人地址】201700上海市青浦區外青松公路7510號【申請人地區】中國【申請人城市】上海市【申請人區縣】青浦區【申請號】CN
【摘要】 本發明書提供了一種濕化學法制備錳鈷鎳 (MnCoNi)薄膜材料的新型方法,完全改變了傳統的制備工藝。 此方法可以在較低溫度下制備出大面積均勻、穩定的MnCoNi 薄膜熱敏材料,并可以與硅工藝兼容,突破傳統陶瓷器件的局 限性,以滿足當代航空航天技術對該類器件的要求。 來自馬-克-數-據-官網 【專利類型】發明申請 【申請人】中國科學院上海技術物理研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】200083上海市玉田路500號 【申請人地區】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區縣】虹口區 【申請號】CN200610030144.7 【申請日】2006-08-17 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1908229A 【公開公告日】2007-02-07 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100443631C 【授權公告日】2008-12-17 【授權公告年份】2008.0 【IPC分類號】C23C18/02; C23C18/08; C23C18/00 【發明人】侯云; 黃志明; 葛玉建; 蔡愚; 禇君浩 【主權項內容】1.一種錳鈷鎳薄膜熱敏材料的制備方法,其特征在于具體步驟如下: A.前驅體溶液的配制: 溶質采用醋酸錳、醋酸鈷、醋酸鎳,其配比為Mn∶Co∶Ni=47-57∶29-35∶ 14-18(原子比),溶劑使用冰醋酸; 將醋酸鹽按上述比例稱好溶于冰醋酸中,加熱此溶液至30~60℃,并不斷 攪拌直至醋酸鹽完全溶解,最后冷卻至室溫;前驅體溶液的濃度可以根據薄膜 單層厚度的需要來調節; B.薄膜的制備: 將上述配制好的前驅體溶液滴到襯底上,用勻膠機將溶液均勻甩開,勻膠 速度為2000~4000轉/分,時間為15-30秒,勻膠得到濕膜;然后將濕膜與襯底 一起置于快速退火爐中進行熱處理,條件為:升溫至150~250℃保持5-10分鐘; 再從150~250℃升溫至400~700℃保持6-10分鐘;重復上述的旋涂勻膠和熱處 理過程,直至得到所需厚度的薄膜。 【當前權利人】中國科學院上海技術物理研究所 【當前專利權人地址】上海市玉田路500號 【統一社會信用代碼】12100000425005579K 【被引證次數】17 【被自引次數】15.0 【被他引次數】2.0 【家族引證次數】5.0 【家族被引證次數】17
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