【摘要】一種分次還原沉積高分散性鉑催化劑顆粒的方 法，屬于催化劑技術領域。步驟為：第一步，稱取納米碳管或 納米碳籠載體，溶于乙二醇溶液中，在超聲條件下進行物理混 合；第二步，按Pt在混合溶液中濃度達到3mmoll調節乙二醇 含量，之后將含有
【摘要】 本發明公開了一種晶片檢測方法，包括：利用AVI工具中的光學處理單元獲取晶片光學圖像；并對晶片光學圖像進行灰度計算及分區；選定分區標準芯片；最后，將不 同分區內的其它芯片同標準芯片進行灰度值對比，檢測出缺陷芯片。所述分區的具體方式根據產品狀況及工藝條件確定；所述分區可為晶片光學圖像內的任意區域；所述分區內標準芯片為晶片上實際存在的芯片或經由AVI工具虛擬得到的芯片模型；進行所述灰度值對比之前，需預先設定對比判別標準；所述對比判別標準由具體的產品要求及工藝條件確定。 數據由馬 克 團 隊整理 【專利類型】發明申請 【申請人】中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】201203上海市浦東新區張江路18號 【申請人地區】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區縣】浦東新區 【申請號】CN200610027587.0 【申請日】2006-06-12 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101090083A 【公開公告日】2007-12-19 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100499057C 【授權公告日】2009-06-10 【授權公告年份】2009.0 【IPC分類號】H01L21/66; G01N21/95; G01R31/00 【發明人】左仲; 王明珠; 呂秋玲; 趙慶國 【主權項內容】1.一種晶片檢測方法，其特征在于，包括： a.利用自動目檢(AVI)工具中的光學處理單元獲取晶片光學圖像； b.對晶片光學圖像進行灰度計算及分區； c.確定各分區內的標準芯片； d.將不同分區內的其它芯片同標準芯片進行灰度值對比，檢測出缺陷芯 片。 【當前權利人】中芯國際集成電路制造(上海)有限公司; 中芯國際集成電路制造(北京)有限公司 【當前專利權人地址】上海市浦東新區張江路18號; 北京市大興區經濟技術開發區文昌大道18號 【專利權人類型】有限責任公司(外國法人獨資) 【統一社會信用代碼】91310115710939629R 【引證次數】2.0 【被引證次數】46 【他引次數】2.0 【被自引次數】5.0 【被他引次數】41.0 【家族引證次數】6.0 【家族被引證次數】46
未經允許不得轉載：http://www.mhvdw.cn/1775388514.html
喜歡就贊一下
