【摘要】插接式旅游床涉及家庭用品，特別是床類。是在 普通折疊式旅游床基礎上，改變床框結構的連接形 式，以插接代替鉚接、鉸接，其特征在于中間支撐采用 V形管、使之構造更簡單，又有較好的強度、使用、攜 帶、收藏更方便，特別適合需要臨時增加床鋪的
【摘要】 一種半導體氣相外延的減壓方法及系統。方法 特征是外延氣壓在10～500托下進行外延生長，反 應后的氣體被抽走。系統特征包括出水管、噴水腔組 成的水抽氣射流循環裝置。出水管的噴水嘴在噴水 腔內。反應室與排氣管間設置了真空壓力計、調節截 止閥，排氣管出氣口接入噴水腔。該方法及系統具有 降低外延生長溫度、抑制自摻雜，提高外延層厚度和 電阻率均勻性等效果；并具有氣流＞10升/分，壓力 10～500托能長時間工作，排氣量大、耐腐蝕等優 點。 【專利類型】發明申請 【申請人】浙江大學 【申請人類型】學校 【申請人地址】310027浙江省杭州市玉泉 【申請人地區】中國 【申請人城市】杭州市 【申請人區縣】西湖區 【申請號】CN91101787.9 【申請日】1991-03-19 【申請年份】1991 【公開公告號】CN1055258A 【公開公告日】1991-10-09 【公開公告年份】1991 【授權公告號】CN1021528C 【授權公告日】1993-07-07 【授權公告年份】1993.0 【IPC分類號】H01L21/205; C30B25/14; H01L21/02 【發明人】葉必光; 沈復初; 陳堅 【主權項內容】1、一種半導體氣相減壓外延的減壓方法，其中包括硅源氣、氫氣、摻雜氣一起以＞10升/分經射頻加熱線圈加熱分解，淀積在襯底上生成的外延層，本發明的特征在于所述硅源氣、氫氣、摻雜氣一起在10～500托氣壓下進行外延生長，反應后的氣體由水抽氣射流循環裝置抽走。 【當前權利人】浙江大學 【當前專利權人地址】浙江省杭州市玉泉 【專利權人類型】公立 【統一社會信用代碼】12100000470095016Q 【被引證次數】11.0 【被他引次數】11.0 【家族被引證次數】12.0
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