【摘要】一種液體燃料的燃燒器，包括一由外壁、底面組 成的杯形外殼，內管、內套管、外套管和進液管，外壁 上和內套管上各有一排燃燒孔，燃料液體采用自流的 方式通過進液管緩慢地進入杯狀外殼的底面內，即可 點火燃燒，點火后約預熱半分鐘，液體燃料即被
【摘要】 大容量圓筒形平板型干法刻蝕機是一種等離子 體微細加工專用設備。該機容量大，刻蝕精度較高且 均勻，能連續完成打底膜、刻蝕、去膠。生產效率高，結 構簡單，成本低，其特征是：反應室內有水平放置的三 個以上電極板或二個以上垂直于水平面放置的電極 板，奇數極板并聯為一組，偶數極板并聯為一組，在電 源線路高頻放電回路上并聯有可調節的直流偏置電 路或正負半周對稱波形可調節交流低頻偏置電路，進 氣口和出氣口按排連接恰當。 【專利類型】實用新型 【申請人】張崇玖; 何圣梅 【申請人類型】個人 【申請人地址】226007江蘇省南通市易家橋新村20號樓305室 【申請人地區】中國 【申請人城市】南通市 【申請人區縣】崇川區 【申請號】CN90215562.8 【申請日】1990-12-12 【申請年份】1990 【公開公告號】CN2084232U 【公開公告日】1991-09-04 【公開公告年份】1991 【授權公告號】CN2084232U 【授權公告日】1991-09-04 【授權公告年份】1991.0 【IPC分類號】H01J37/305; H01J37/077; H05K3/08; H01J37/06; H05K3/02 【發明人】張崇玖; 何圣梅 【主權項內容】1、大容量圓筒形平板型干法刻蝕機，有圓筒形反應室、內電極板、反應室密封帽、真空泵、進出氣管、刻蝕源流量計及電源線路部分組成，真空泵和刻蝕源流量計分別用連接管與反應室連接，反應室密封帽套在反應室開口處，內電極板置于反應室內，電極電源引出端與高頻電源線路輸出端連接，其特征是：內電極板為三個以上(含三個)水平電極板，或二個以上(含二個)垂直于水平面電極板，反應室的徑向兩側或軸向兩端有進氣口和出氣口。 【當前權利人】張崇玖; 何圣梅 【當前專利權人地址】江蘇省南通市易家橋新村20號樓305室;
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