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【摘要】 本發(fā)明提出了一種由超導厚膜組成的超導器件及其制造方法，所說的超導膜由厚度為5～30微米的稀土-鋇-銅-氧系的氧化物系超導材料組成。本發(fā)明提出的超導器件的制造方法包括在基板上制膜、制微橋、燒制、按導通的電流電極和電壓電極工序組成，還可包括在燒制后在微橋上制微孔穴工序。在基板上制膜工序采用絲網(wǎng)印刷技術(shù)。本發(fā)明提出的超導器件性能穩(wěn)定、容易制造，其制造方法簡單，所需設(shè)備簡單、成本低。。來自馬-克-數(shù)-據(jù)-官網(wǎng) 【專利類型】發(fā)明授權(quán) 【申請人】北京有色金屬研究總院 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】北京市新街口外大街2號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區(qū)縣】西城區(qū) 【申請?zhí)枴緾N88101614.4 【申請日】1988-03-31 【申請年份】1988 【公開公告號】CN1012241B 【公開公告日】1991-03-27 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號】CN1012241B 【授權(quán)公告日】1991-03-27 【授權(quán)公告年份】1991.0 【IPC分類號】H01L39/22; H01L39/24 【發(fā)明人】林安中; 李漢青 【主權(quán)項內(nèi)容】1.一種超導器件，它由襯底基板(1)、與襯底 牢固結(jié)合的氧化物系超導膜(2)、位于超導膜間 的與膜相連的微橋(3)、與膜導通的電流電極 (4)和電壓電極(5)組成，所說的氧化物系超導 膜是稀土元素-鋇-銅-氧系超導體，所說的稀土元 素是Y、La、Nd、Cm、Gd、Ho、Er、Lu中的 一種；其特征是： 1)所說的超導膜是厚度為5-30微米的厚 膜； 2)所說的微橋的長度為0.1-3毫米，寬度為 0.1-2毫米。 【當前權(quán)利人】有研半導體材料股份有限公司 【當前專利權(quán)人地址】北京市西城區(qū)新街口外大街2號 【被引證次數(shù)】3.0 【被自引次數(shù)】3.0 【家族被引證次數(shù)】5.0
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